Dispositivo para el mapeo de obleas
Complemento opcional para explorar y mapear la orientación del cristal o las distorsiones de la superficie.
Información general
Orientación del cristal ultrarrápida y precisa (hasta (1/100)o) al alcance de su mano. El sistema DDCOM llega a resultados fiables más de 100 veces más rápido que los métodos tradicionales y ahorra aún más tiempo gracias a la geometría de medición de arriba abajo. Este instrumento de alta versatilidad utiliza un tubo de rayos X refrigerado por aire y un diseño portátil para garantizar menores costos de funcionamiento y la máxima comodidad, lo que resulta ideal para aplicaciones de control de calidad, de marcado y de investigación.
Características y beneficios
Precisión ultrarrápida
Nuestro método de escaneo patentado requiere una única rotación de escaneo para recopilar todos los datos necesarios a fin de determinar la orientación del cristal, lo cual ofrece resultados precisos en el plazo de unos pocos segundos (rotación única).
La geometría del instrumento específica del material permite medir la orientación de la red de cristales en relación con el eje de rotación de manera ultrarrápida, con una precisión que aumenta con el número de rotaciones de escaneo.
Formato compacto y fácil de usar
El diseño compacto del DDCOM permite que el sistema encaje en cualquier entorno. El software es potente e intuitivo, por lo que resulta conveniente y fácil de operar para una variedad de usuarios.
Control preciso y eficiente
Mantenga el control de los procesos de corte, molienda y lapeado con una precisión alta de hasta 1/100o. El DDCOM ofrece una orientación completa de la red de monocristales y está diseñado para el ajuste y marcado azimutales de la orientación del cristal.
Los parámetros de cristal preprogramados permiten determinar la orientación arbitraria desconocida de varias estructuras y ayudan a refinar el flujo de trabajo para una mayor eficiencia. Varios accesorios de plataformas permiten la metrología en diferentes pasos del proceso.
Versátil y rentable
El DDCOM puede operar correctamente tanto en entornos de investigación como de producción en los que es necesario analizar una serie de tipos de muestras. El DDCOM mantiene costos operativos bajos, gracias a su bajo consumo de energía y al tubo de rayos X refrigerado por aire. No se requiere refrigeración por agua.
El instrumento puede medir una gama de diferentes materiales con diferentes estructuras, lo que lo convierte en una adición versátil para todo tipo de laboratorios. Algunos ejemplos de materiales medibles incluyen los siguientes:
- Cúbicos, orientación arbitraria desconocida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cúbicos, orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonales: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonales y trigonales: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrómbicos: Mg2SiO4, NdGaO3
Aplicaciones clave
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- Control de orientación del cristal para corte, molienda y lapeado
- Gracias a sus capacidades de automatización, rápida velocidad de medición y pequeño tamaño, el XRD DDCOM le ofrece una forma conveniente y fácil de usar para medir la orientación del cristal, lo que permite un control preciso y eficiente de los procesos de corte, molienda y lapeado.
- Ajuste y marcado de la orientación del cristal
- El DDCOM está equipado para el ajuste azimutal y el marcado de la orientación del cristal. El marcado de obleas depende de una precisión excelente y un monitoreo rápido, y DDCOM ofrece la velocidad y precisión que su proceso necesita. Es ligero y portátil, y se integra fácilmente a su configuración existente o como parte de un proceso nuevo.
- Control de calidad
- La velocidad de medición y el tiempo de rendimiento son cruciales para el control de calidad de la producción, pero para las mediciones de rutina, también es importante mantener bajos los costos de funcionamiento. El DDCOM no solo es eficiente en rendimiento y productividad gracias a su geometría de medición de arriba abajo, sino que también lo es en el uso de energía; esto le permitirá mantener los costos más bajos y que sus procesos funcionen de manera óptima, sin afectar la calidad.
- Investigación de materiales
- Capaz de medir una gama versátil de tipos de cristales en un laboratorio con poco espacio, el DDCOM es ideal para flujos de trabajo de investigación estándar. Los costos de funcionamiento se mantienen bajos gracias a la reducción del consumo de energía y a un tubo de rayos X refrigerado por aire sin necesidad de refrigeración por agua. DDCOM también es accesible y fácil de operar para diversos niveles de experiencia, lo que lo convierte en una solución práctica para laboratorios de investigación.
Especificación
| Especificación técnica | |
|---|---|
| Fuente de rayos X | Tubo de rayos X refrigerado por aire de 30 W, ánodo de Cu |
| Detectores | Dos contadores de centelleo |
| Soporte de muestras | Plataforma giratoria precisa, precisión de ajuste 0,01°, herramientas para el posicionamiento y marcado de muestras definidas |
| Especificación física | |
| Dimensiones | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| Peso | 80 kg |
| Fuente de energía | 100-230 V, 500 W, monofásico |
| Temperatura ambiente | ≤30 °C |
| Opciones de configuración | |
| Dispositivo para mapeo de obleas (diámetro máximo 225 mm) | |
| Dispositivo para carga automática desde casetes | |
| Ejemplos de materiales medibles | |
| Cúbicos / orientación arbitraria desconocida: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
| Cúbicos / orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
| Tetragonales: MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
| Hexagonales / trigonales: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
| Ortorrómbicos: Mg2SiO4, NdGaO3 | |
| Otros materiales según los pedidos de los clientes | |
Accesorios
Carga automática desde casete
Una herramienta adicional para permitir la carga automatizada de muestras desde un casete, lo que mejorará el tiempo de producción y la eficiencia del flujo de trabajo.
Soporte
Servicios de asistencia
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones integrales para metrología de semiconductores elementales y estructurales
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
