Plataformas de muestreo adicionales
Mida un rango más amplio de tamaños de muestra en diferentes plataformas del proceso con plataformas de muestra adicionales diseñadas para acomodar cristales más pequeños o mayores que el promedio.
Información general
El Omega/Theta XRD es su socio confiable a prueba de futuro para determinar la orientación de los cristales en el panorama cambiable de semiconductores. La precisión líder del mercado, la velocidad de medición rápida y la calidad de construcción de alta gama se combinan con el poder de la automatización, lo que garantiza que sus procesos estén listos para todo. Con una eficiencia y precisión incomparables para la orientación y alineación de los cristales, el Omega/Theta XRD es ideal para aplicaciones de producción y de investigación.
Características y beneficios
Precisión ultrarrápida con tecnología de escaneo patentada
Nuestro método requiere un solo círculo de medición para recopilar todos los datos necesarios a fin de determinar completamente la orientación, lo que ofrece una alta precisión en un tiempo de medición muy bajo, en el rango de unos pocos segundos.
Interfaz sencilla para conectividad avanzada y mediciones automatizadas
Todas las determinaciones del Omega/Theta XRD son automatizadas y se gestionan desde el software XRD fácil de usar. El instrumento se puede integrar fácilmente en los procesos existentes en entornos de producción mediante sus diversos MES, SECS/GEM e interfaces similares.
Caracterizar una variedad de materiales
Omega/Theta XRD se puede utilizar para caracterizar todos los materiales cristalinos individuales. Los materiales utilizados comúnmente son los siguientes:
- Si
- Ge
- SiC
- AIN
- GaN
- GaAs
- Cuarzo
- LiNbO3
- CdTe
- BBO
Manipulación de muestras conveniente y flexible
Nuestra amplia gama de accesorios mejora la productividad de Omega/Theta XRD en una gran variedad de aplicaciones, desde el taladrado de semillas hasta el rectificado, pasando por el rebanado y el control final de la geometría de las obleas, lo que le permite ser flexible incluso si sus necesidades cambian con el tiempo. Los complementos incluyen lo siguiente:
- Plataforma de mapeo X-Y automática para mapear la orientación del cristal o las distorsiones de la superficie en una cuadrícula definida por el usuario
- Plataforma de apilamiento para alinear los lingotes antes del aserrado
- Herramienta de curva oscilante para medición de calidad
- Eje de rotación de muestra adicional
- Cámara fotográfica y procesamiento de imágenes
- Escáner láser para la determinación de la forma de la muestra
- Equipo de ajuste de la muestra
- Hay muchas más soluciones de ingeniería personalizadas.
Con portamuestras personalizados para satisfacer cualquier necesidad, desde grandes lingotes hasta diminutos cilindros, el Omega/Theta XRD puede acomodar una amplia gama de tamaños de muestra, lo que garantiza que se adapte tanto al flujo de trabajo de producción como al de investigación.
Aplicaciones clave
-
- Producción
- El Omega/Theta XRD se diseñó para los fabricantes. Es ideal para la orientación y el alineamiento ultrarrápidas de varios tipos de cristal en la producción, para marcar las direcciones en el plano o verificar la orientación de las caras o las muescas. También es ideal para el control de calidad de la producción, gracias a sus altas velocidades de rendimiento y capacidades de automatización.
- Los extras opcionales, como la plataforma de apilamiento para alinear lingotes antes del aserrado y una herramienta de rocking curve para mediciones de calidad, hacen que el Omega/Theta XRD sea un socio versátil para aplicaciones de producción.
- Investigación de materiales
- La alta precisión y flexibilidad del Omega/Theta XRD significa que es ideal para la investigación de materiales, ya que puede albergar un rango de muestras de hasta 30 kg y 450 mm de longitud, con plataformas adicionales disponibles para muestras más grandes o complejas.
- Es capaz de caracterizar una amplia gama de materiales, lo que lo hace muy valioso para sus procesos de I+D, y la exploración Theta flexible abre un mundo de posibilidades de medición.
Especificación
| Especificaciones técnicas | |
|---|---|
| Fuente de rayos X | Tubo de rayos X refrigerado por Estándar, ánodo de Cu |
| Detector | Contador de centelleo (simple o doble) |
| Soporte de muestras | Plataforma giratoria precisa, placa de montaje y herramientas para el ajuste de muestras |
| Colimador de cristal | Disponible |
| Mapeo | Plataforma de mapeo de servicio pesado disponible |
| Software | XRDStudio |
| Enfriamiento por agua | Flujo: 4 l/m, presión máx. 8 bar, T ≤30 °C. |
| Estación de trabajo para computadora | Windows 7 o la última actualización de .NET Framework |
| Dimensiones | Alto 1950 mm x Profundidad 820 mm x Ancho 1200 mm |
| Peso | ca, 650 kg |
| Requisito de alimentación eléctrica | De 208 a 240 V, 16 A monofásica, de 50 a 60 Hz |
| Certificación | Fabricado de acuerdo con las directrices ISO 9001, conforme a CE |
Accesorios
Equipo de ajuste de la muestra
Manipule fácilmente sus diversos tipos de muestras con herramientas dedicadas de ajuste de muestras.
Plataforma de mapeo X-Y automático
Asigne fácilmente la orientación del cristal o las distorsiones de la superficie en una rejilla definida por el usuario, mediante una plataforma de posicionamiento adicional de X-Y sobre la plataforma giratoria. La plataforma de mapeo permite la exploración completa de toda la superficie de muestra mediante una exploración de superficie personalizable.
Plataforma de apilamiento
Alinee con precisión los lingotes antes del aserrado y mejore la utilización de la herramienta. La plataforma de apilamiento eficiente alinea los lingotes durante la exploración azimutal, antes de transferir la pila completa a la sierra alámbrica. Este método de corte paralelo es altamente eficiente.
Herramienta de curva oscilante
Mediciones de control de calidad rápidas y exactas para los procesos de producción. La rocking curve, indicativa de la calidad de la red, puede evaluarse rápidamente en sentido puntual o junto con una herramienta de mapeo para un mapa de calidad. La óptica está automatizada para el encendido y apagado fácil.
Cámara fotográfica y procesamiento de imágenes
La detección plana y de muesca es más fácil gracias a una cámara fotográfica de alta calidad y capacidades adicionales de procesamiento de imágenes.
Escáner láser para la determinación de la forma de la muestra
Un lector láser opcional permite la medición de la forma precisa de la muestra, lo que le proporciona una perspectiva más profunda de sus materiales.
Soporte
Servicios de apoyo
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones listas para usar en la metrología de semiconductores elemental y estructural
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
