Soportes para muestras
Existen diversos soportes de muestra disponibles para el SDCOM, lo que le permite procesar muestras más pequeñas, más grandes o irregulares con más facilidad.
Información general
La medición rápida y precisa de la orientación del cristal nunca ha sido tan accesible: conozca el SDCOM, su XRD compacto fácil de usar. El método de escaneo azimutal desbloquea una medición ultrarápida, con obtención de resultados en menos de cinco segundos.
El SDCOM ofrece el más alto nivel de precisión de hasta 0,01o, y con una amplia variedad de soportes de muestra y accesorios de transferencia, incluida una opción de marcado para la dirección lateral del cristal, este sistema compacto y fácil de usar es la solución ideal para muchas aplicaciones dentro de la investigación y el procesamiento de obleas.
Características y beneficios
Ultrarrápido y preciso: método de escaneo azimutal
El método de escaneo azimutal requiere un solo círculo de medición para recopilar todos los datos necesarios a fin de determinar completamente la orientación, lo que ofrece una alta precisión en un tiempo de medición muy bajo, en el rango de unos pocos segundos.
La muestra se gira 360o, con la fuente de rayos X y el detector posicionados para lograr un determinado número de reflejos por giro. Estas reflexiones permiten medir la orientación de la red cristalina en relación con el eje de rotación con alta precisión en poco tiempo.
Compacto y versátil
El SDCOM es ligero y compacto, lo que lo hace fácil de mover y capaz de encajar con facilidad en su proceso, ya sea en investigación o industria. El software XRD Suite es potente e intuitivo, por lo que es conveniente y fácil de operar para una variedad de usuarios.
La flexibilidad es clave para el SDCOM, que es especialmente clara en la gama de materiales que puede medir. El SDCOM puede medir cristales desde 1 mm de tamaño, y los ejemplos de materiales medibles incluyen los siguientes:
- Cúbico, orientación desconocida arbitraria: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cúbico, orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal y trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrómbico: Mg2SiO4, NdGaO3
También existen diversos soportes de muestra y accesorios de transferencia que pueden ampliar aún más las posibilidades de las aplicaciones de su SDCOM, lo que garantiza la compatibilidad con su flujo de trabajo. Las etapas manuales y motorizadas de mapeo de obleas también están disponibles.
Precisión fácil de usar
El SDCOM ofrece una precisión excelente de hasta 0,01o dependiendo de la muestra, y es capaz de medir cristales desde 1 mm en tamaño. Esta precisión se mantiene a las velocidades más altas gracias al método de escaneo azimutal, que proporciona una caracterización completa de la orientación del cristal dentro de una sola rotación de medición. También existe una opción para incluir una función de marcado de dirección del cristal lateral.
Gracias al manejo manual y al diseño de software intuitivo, el SDCOM es fácil de usar y accesible para una variedad de tipos de usuarios, práctico tanto en investigación como en la industria, áreas en las que los niveles de experiencia de los usuarios pueden variar.
Rentable
El tubo de rayos X del SDCOM se enfría por aire, lo que elimina la necesidad de refrigeración por agua. Gracias a la eficiencia y el pequeño tamaño del SDCOM, su consumo de energía se mantiene al mínimo, al igual que sus costos de funcionamiento.
Aplicaciones clave
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- Marcado y medición de direcciones en plano
- El SDCOM ofrece mediciones de orientación del cristal ultrarrápidas y muy precisas, ideales para una amplia gama de aplicaciones en la producción y el procesamiento de obleas, incluido el marcado y la medición de direcciones en plano. Dado que es ligero y portátil, se puede implementar dondequiera que lo necesite en su proceso.
- Capaz de medir cristales pequeños de hasta 1 mm con alta precisión y una amplia gama de materiales, el SDCOM está bien situado para soportar las necesidades complejas y cambiantes de la industria de los semiconductores.
- Control de calidad de producción
- El control de procesos rutinario exige velocidad, precisión y repetibilidad, y el SDCOM cuenta con ello. Su velocidad de medición ultrarrápida le dará un impulso a su productividad sin tener un gran impacto en sus costos de funcionamiento, gracias a su formato de escritorio y tubo de rayos X enfriado por aire.
- Investigación de materiales
- Capaz de medir una gama versátil de tipos de cristales dentro de un laboratorio con poco espacio, el SDCOM es ideal para flujos de trabajo de investigación estándar. Los costos de funcionamiento se mantienen bajos gracias al consumo de energía minimizado y a un tubo de rayos X enfriado por aire sin necesidad de refrigeración por agua.
- El SDCOM también es accesible y fácil de operar con manipulación manual, lo que lo convierte en una solución práctica para laboratorios de investigación con muchos usuarios diferentes.
Especificación
| Fuente de rayos X | Tubo de rayos X refrigerado por aire de 30 W, ánodo de Cu |
| Detectores | Tecnología de contador de centelleo |
| Soporte de muestras | Plataforma giratoria precisa, ajuste de precisión 0,01°, soportes de muestra personalizados y accesorios de transferencia |
| Diámetro de la muestra | Desde 2 mm ø hasta 200 mm |
| Temperatura ambiente | ≤30 °C |
| Requisitos de PC | Windows 10 o más reciente. Actualización de NET Framework, 2 puertos Ethernet |
| Requisitos de alimentación eléctrica | De 100 a 230 V, monofásico, 500 W |
| Dimensiones | 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (A) |
| Peso | ca, 100 kg |
| Certificación | Fabricado de acuerdo con las directrices ISO 9001, conforme a CE |
| Todos los parámetros técnicos están sujetos a cambios basados en I+D | |
Accesorios
Accesorios de transferencia
Integre completamente el SDCOM en su proceso mediante la adición de accesorios de transferencia dedicados, que incluye opciones para sierra de hilo, molienda y más.
Soporte
Servicios de apoyo
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones listas para usar en la metrología de semiconductores elemental y estructural
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
