Información general
El Wafer XRD 200 es una plataforma de difracción de rayos X de alta velocidad totalmente automatizada para la producción e investigación de obleas como nunca antes había visto.
El Wafer XRD 200 proporciona datos clave sobre una variedad de parámetros esenciales, como la orientación y resistividad del cristal, características geométricas como muescas y partes planas, mediciones de distancia y mucho más, en solo unos segundos. Diseñado para encajar a la perfección en su línea de proceso.
Características y beneficios
Precisión ultrarrápida con tecnología de escaneo patentada
El método requiere una única rotación de oblea para recopilar todos los datos necesarios a fin de determinar completamente la orientación, lo que ofrece una alta precisión en un tiempo de medición muy bajo: en unos pocos segundos.
Manejo y clasificación totalmente automatizados
El Wafer XRD 200 está diseñado para optimizar su rendimiento y productividad. La automatización plena del manejo y la clasificación, así como las herramientas de transmisión de datos detallada, lo convierten en un elemento potente y eficiente en su proceso de control de calidad.
Fácil conectividad
La potente automatización del Wafer XRD 200 es compatible tanto con las interfaces MES como SECS/GEM. Se adapta fácilmente a su proceso nuevo o existente.
Alta precisión, mayor perspectiva
Comprenda sus materiales como nunca antes con las mediciones clave de Wafer XRD 200. El Wafer XRD 200 puede medir los siguientes aspectos:
- Orientación del cristal
- Posición, profundidad y ángulo de apertura de las muescas
- Diámetro
- Posición plana y longitud
- Resistividad
La inclinación típica de desviación estándar (ejemplo: Si 100) para el escaneo azimutal es <0,003o, mínimo <0,001o.
Potente y versátil
El Wafer XRD 200 hace posible una amplia gama de mediciones a alta velocidad, lo que agregará valor real a sus procesos, ya sea en entornos de investigación o producción. Pero esa no es la única forma en que el Wafer XRD 200 resulta versátil y flexible.
El Wafer XRD 200 permite un análisis fácil y rápido para cientos de muestras potenciales, incluidas las siguientes:
- Si
- SiC
- AlN
- Al2O3 (zafiro)
- GaAs
- Cuarzo
- LiNbO3
- BBO
Aplicaciones clave
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- Producción y procesamiento
- La automatización es una necesidad en esta industria tan dinámica, y el Wafer XRD 200 lleva la delantera como solución práctica y potente para gestionar la manipulación y clasificación de obleas y las mediciones en profundidad de la orientación del cristal, la determinación óptica de muescas y partes planas, las mediciones de resistividad y otros parámetros importantes. ¡Disfrute el aumento de la productividad usted mismo!
- Control de calidad
- Comprender sus materiales con precisión y rapidez es la clave para un buen control de calidad, y el Wafer XRD 200 es la solución ideal. Gracias al método ultrarrápido Omega-Scan, determina la orientación del cristal en una sola medición, por lo que arroja resultados en cinco segundos. Con funciones adicionales que incluyen medición de resistividad y determinación de características geométricas, el Wafer XRD 200 ofrece una eficiencia y versatilidad sin precedentes para el control de calidad de la producción.
- Investigación de materiales
- No todos los entornos ajetreados son entornos de producción: el Wafer XRD 200 se encuentra igualmente equipado para proporcionar análisis de alto rendimiento en entornos de I+D. Capaz de caracterizar cientos de materiales diferentes, desde Si, SiC y GaAs hasta cuarzo, LiNbO3 y BBO, el Wafer XRD 200 tiene la versatilidad para apoyarlo en su investigación e innovación de materiales, y lo ayudará a dar forma al futuro de la tecnología de semiconductores.
Especificaciones
| Rendimiento | Más de 10 000 obleas por mes |
| Geometría de obleas | A pedido |
| Precisión de inclinación | 0,003 |
| Eje de XRD vs. posición de muescas/partes planas | 0,03° |
Soporte
Servicios de asistencia
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones integrales para metrología de semiconductores elementales y estructurales
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
