Esses dispositivos podem ser configurados com opções de software dedicadas para tipos de análise específicos. Em conjunto com os módulos de aplicação (configuração de aplicação, calibração e padrões) ou como um pacote com dispositivos de preparação da amostra, soluções analíticas completas são criadas. Todos os produtos Malvern Panalytical contam com o suporte de nossa organização de pós-vendas e de atendimento ao cliente.

Em nosso Centro de conhecimento, você encontrará mais informações sobre as várias aplicações de FRX interessantes possíveis com nossos dispositivos.

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

Excelência elementar

Pequeno e potente

Rapidez e precisão na análise elementar em linha

Informações diretas do seu processo de produção

Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados

Alta produtividade de amostras

Mais detalhes Mais detalhes Mais detalhes Mais detalhes Mais detalhes Mais detalhes
Tipo de medição
Metrologia de filme fino
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Identificação química
Tecnologia
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Gama elementar Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Resolução (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
processamento de amostra 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day