Espectrômetros de fluorescência de raios X (FRX)

A Malvern Panalytical tem uma gama versátil de espectrômetros de FRX e produtos relacionados para análise elementar e de filme fino. Esses produtos são indicados para uma ampla gama de requisitos de análise e produtividade e ambientes operacionais. Os espectrômetros vão desde sistemas de FRX de bancada por energia dispersiva até sistemas de FRX de alto desempenho por comprimento de onda dispersiva e produtos para medição de semicondutores.

Esses dispositivos podem ser configurados com opções de software dedicadas para tipos de análise específicos. Em conjunto com os módulos de aplicação (configuração de aplicação, calibração e padrões) ou como um pacote com dispositivos de preparação da amostra, soluções analíticas completas são criadas. Todos os produtos Malvern Panalytical contam com o suporte de nossa organização de pós-vendas e de atendimento ao cliente.

Em nosso Centro de conhecimento, você encontrará mais informações sobre as várias aplicações de FRX interessantes possíveis com nossos dispositivos.

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	Zetium Excelência elementar
	Mais detalhes
Medição	Identificação química, Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar
Gama elementar	Be-U
Resolução (Mg-Ka)	35eV
LLD	0.1 ppm - 100%
processamento de amostra	160per 8h day - 240per 8h day
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF), Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)
	Axios FAST Alta produtividade de amostras
	Mais detalhes
Medição	Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Quantificação elementar
Gama elementar	Be-U
Resolução (Mg-Ka)	35eV
LLD	0.1 ppm - 100%
processamento de amostra	240per 8h day - 480per 8h day
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF)
	Epsilon 1 Pequeno e potente
	Mais detalhes
Medição	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar
Gama elementar	Na-Am
Resolução (Mg-Ka)	135eV
LLD	1 ppm - 100%
processamento de amostra	40per 8h day - 80per 8h day
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)
	Epsilon Xflow Informações diretas do seu processo de produção
	Mais detalhes
Medição	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante
Gama elementar	Na-Am
Resolução (Mg-Ka)	135eV
LLD	1 ppm - 100%
processamento de amostra	on-line
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)
	2830 ZT Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados
	Mais detalhes
Medição	Identificação química, Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar
Gama elementar	Be-U
Resolução (Mg-Ka)	35eV
processamento de amostra	up to 25 wafers per hour
LLD	0.1 ppm - 100%
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF)
	Epsilon 4 Rapidez e precisão na análise elementar em linha
	Mais detalhes
Medição	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar
Gama elementar	C-Am
Resolução (Mg-Ka)	135eV
LLD	1 ppm - 100%
processamento de amostra	80per 8h day - 160per 8h day
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)

	Zetium Excelência elementar	Axios FAST Alta produtividade de amostras	Epsilon 1 Pequeno e potente	Epsilon Xflow Informações diretas do seu processo de produção	2830 ZT Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados	Epsilon 4 Rapidez e precisão na análise elementar em linha
	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes
Medição	Identificação química, Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar	Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Quantificação elementar	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante	Identificação química, Metrologia de filme fino, Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar	Análise Elementar, Detecção e análise de contaminante, Quantificação elementar
Gama elementar	Be-U	Be-U	Na-Am	Na-Am	Be-U	C-Am
Resolução (Mg-Ka)	35eV	35eV	135eV	135eV	35eV	135eV
LLD	0.1 ppm - 100%	0.1 ppm - 100%	1 ppm - 100%	1 ppm - 100%	0.1 ppm - 100%	1 ppm - 100%
processamento de amostra	160per 8h day - 240per 8h day	240per 8h day - 480per 8h day	40per 8h day - 80per 8h day	on-line	up to 25 wafers per hour	80per 8h day - 160per 8h day
Tecnologia	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF), Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF)	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)	Fluorescência de Raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF)	Fluorescência de Raios X por Dispersão de Energia (EDXRF)

	Zetium	Epsilon 1	Epsilon 4	Epsilon Xflow	2830 ZT	Axios FAST

	Excelência elementar	Pequeno e potente	Rapidez e precisão na análise elementar em linha	Informações diretas do seu processo de produção	Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados	Alta produtividade de amostras
	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes	Mais detalhes
Tipo de medição
Metrologia de filme fino
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Identificação química
Tecnologia
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Gama elementar	Be-U	Na-Am	C-Am	Na-Am	Be-U	Be-U
LLD	0.1 ppm - 100%	1 ppm - 100%	1 ppm - 100%	1 ppm - 100%	0.1 ppm - 100%	0.1 ppm - 100%
Resolução (Mg-Ka)	35eV	135eV	135eV	135eV	35eV	35eV
processamento de amostra	160per 8h day - 240per 8h day	40per 8h day - 80per 8h day	80per 8h day - 160per 8h day	on-line	up to 25 wafers per hour	240per 8h day - 480per 8h day
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