Für die Bestimmung der Dicke und der Zusammensetzung dünner Schichten
Dünne Schichten und Schichtmaterialien sind allgegenwärtig. Sie kommen in unzähligen Bereichen zur Anwendung. So werden sie beispielsweise für Schmuck, beschichtete Stähle oder andere Metalle und integrierte Schaltkreise verwendet. In der Produktion von dünnen Schichten und Schichtmaterialien ist häufig eine präzise Kontrolle der Dicke und Zusammensetzung notwendig.
Durch die Kombination der hervorragenden Reproduzierbarkeit mit einer zerstörungsfreien Messung ist RFA ein äußerst nützliches Verfahren zur Analyse der Zusammensetzung und Dicke dünner Schichten. Die Reproduzierbarkeit einer Dickemessung durch RFA kann bei ± 1 Ångstrom liegen.
Bisher war der RFA-Kalibrierungsprozess für Dünnschichtanalysen besonders schwierig, vor allem bei mehrschichtigen Strukturen. Im Allgemeinen sind Kalibrierproben mit einer den zu analysierenden Proben ähnlichen Struktur und Zusammensetzung erforderlich. Diese Kalibrierproben sind in der Regel kostspielig und schwer zu beschaffen, sofern sie überhaupt verfügbar sind.
Stratos erhöht den Wert der RFA für Ihre Dünnschicht-Messtechnik durch eine erhebliche Vereinfachung und Verbesserung der Flexibilität des RFA-Kalibrierungsprozesses. Stratos ermöglicht die Verwendung von von den unbekannten Proben abweichenden Kalibrierproben und ermöglicht sogar die Verwendung von Schüttgut für die Kalibrierung zur Analyse dünner Schichten und Schichtmaterialien.
Stratos enthält Virtual Analyst, mit dem die RFA-Reaktion für komplexe Strukturen simuliert werden kann, und zeigt sofort, welche Fluoreszenzlinien am besten zur Messung der Variationen der Dicke und der Konzentrationswerte Ihrer Schichten geeignet sind. Dadurch wird die Methodenkonfiguration für die Dünnschichtanalyse erheblich vereinfacht.
Stratos + Omnian: standardfreie Multilayer-Funktion
Das Stratos-Modul besteht aus einer Softwarelizenz für RFA-Geräte von Malvern Panalytical wie Zetium, Axios oder MagiX und die Tischspektrometer der Epsilon-Reihe. Es kann problemlos mit Omnian kombiniert werden. Bei Systemen, auf denen Omnian installiert ist, kann die Omnian-Konfiguration direkt für die Dünnschichtanalyse mit Stratos verwendet werden. Bei Systemen, auf denen Omnian nicht installiert ist, können die Omnian-Einrichtungsproben weiterhin zur Konfiguration von Stratos verwendet werden. Das Modul kann mit neuen Systemen geliefert werden, kann aber auch bei vorhandenen Geräten nachgerüstet werden, auf denen die SuperQ- oder Epsilon-Software ausgeführt wird.
