Die Elementarzusammensetzung der Materialien ist oft ein entscheidender Parameter für Produktqualität und Sicherheit. So ist beispielsweise die korrekte Zusammensetzung des Rohstoffs für den Zementofen entscheidend für reibungslosen Betrieb und maximale Effizienz. Ebenso wichtig ist die sorgfältige Überwachung auf potenziell schädliche Elemente wie Schwefel, Natrium, Kalium und Quecksilber, da diese in den Prozess oder die Umwelt eingreifen können. Die für diese Analysen am besten geeignete Technik hängt vom Material, seiner Position sowie von branchenspezifischen Kriterien ab.

Wenn präzise Analysen mit minimalen Probenvorbereitung erforderlich sind, stellt die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ein attraktives Verfahren dar, das in Betracht gezogen werden sollte. Dieses Verfahren ist zum „Goldstandard“ für Analysen in vielen Branchen geworden. Bei der Analyse von Feststoffen, Pulver, Suspensionen, Filtern und Ölen ist die RFA besonders geeignet. Für Online-Analysen des Materials, das auf Bandförderern transportiert wird, ist die Analyse mithilfe einer Aktivierung mit gepulsten schnellen thermischen Neutronen (PFTNA) ein wertvolles Verfahren. Elementaranalysen in Echtzeit ermöglichen die bei vielen Prozessen besonders wichtige Kontrolle des Vorwärts- und Rückwärtsschubs.

Zetium

Epsilon

Axios FAST

2830 ZT

CNA Produktlinie

Zetium

Elementare Leistung

Epsilon

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

CNA Produktlinie

Online elemental analyzers for effective control of many industrial processes

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Aktivierung mit gepulsten schnellen thermischen Neutronen
Elementbereich Be-U Na-Am, C-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour