Quantifizierung von Elementen

Quantifizierung von Elementkonzentrationen mittels RFA und PFTNA

In vielen Anwendungsbereichen ist die Kenntnis der Elementkonzentration ein entscheidender Faktor bei der Kontrolle von Materialeigenschaften oder der Einhaltung von Gesundheits- und Sicherheitsvorschriften. Daher reicht es oft nicht aus, lediglich das Vorhandensein von Elementen zu messen, sondern auch eine genaue Quantifizierung der Konzentration ist notwendig. 

Der erforderliche Genauigkeitsgrad ist abhängig vom Anwendungsbereich.

Quantifizierungstechniken

Röntgenfluoreszenz und Aktivierung mit gepulsten schnellen thermischen Neutronen sind zerstörungsfreie, stabile und einfach anzuwendende Analyseverfahren zur Bestimmung der Elementzusammensetzung verschiedener Materialien in einer Vielzahl von Anwendungen. Um mit diesen Verfahren Elementkonzentrationen zu quantifizieren, werden die gemessenen Intensitäten mit der von zertifizierten Referenzmaterialien oder mit bekannten Intensitäten interner Standards verglichen. Diese Standards sollten dem Probenmaterial so ähnlich wie möglich sein, um genaue Ergebnisse zu erzielen. Die gemessenen Konzentrationen werden auch von den physikalischen Eigenschaften der Probe beeinflusst, daher ist oft die Anwendung verschiedener Korrekturen notwendig, die von der Anwendersoftware durchgeführt werden.

Standardlose Software

In vielen Branchen ist ein schnelles Screening von Probenmaterial unbekannter Zusammensetzung ohne spezielle Standards erforderlich. 

In solchen Fällen kann eine standardfreie Analysesoftware wie Omnian eingesetzt werden, um die allgemeine Elementzusammensetzung zu bestimmen und semiquantitative Werte der Elementkonzentrationen zu erhalten.

Zetium

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Elementare Leistung

Epsilon-Serie

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Schnelle und genaue Elementaranalyse – vor Ort und online

Axios FAST

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Hoher Probendurchsatz

2830 ZT

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Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

CNA-Produktlinie

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On-line-Elementaranalysatoren für die effektive Kontrolle einer Vielzahl von industriellen Prozessen

Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
Chemische Identifikation
Technologie
Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA)
Gepulste schnelle und thermische Neutronenaktivierungsanalyse
Elementbereich Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160pro 8 Std. Tag - 240pro 8 Std. Tag Up to - 160pro 8 Std. Tag 240pro 8 Std. Tag - 480pro 8 Std. Tag up to 25 wafers per hour