X'Pert³

Die verbesserte X'Pert-Plattform

Die erfolgreiche X'Pert-Plattform wird mit den Röntgendiffraktometern der X'Pert³-Serie von Malvern Panalytical fortgesetzt. Dank der neuen integrierten Steuerelektronik, der Einhaltung der neuesten und strengsten Röntgen- und Bewegungssicherheitsnormen und Fortschritten in Sachen Umweltfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ist die X'Pert³-Plattform bereit für die Zukunft.

  • Längste Lebensdauer der Einfallstrahlkomponenten durch CRISP  
  • Maximale Verfügbarkeit durch pneumatische Shutter und Strahlabschwächer  
  • Einfache Erweiterung auf neue Anwendungen dank PreFIX-Technologie der 2. Generation  
  • Schneller und zuverlässiger werkzeugloser Austausch der Fokusposition der Röhre  
  • Neue integrierte Steuerelektronik mit direkter Internetverbindung  
  • Einhaltung der strengsten Sicherheitsbestimmungen

Unterstützte Produkte

X'Pert³ MRD

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

Messung
Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology
Wafer mapping
100 mm
C-to-C wafer loader
No
Goniometer configuration
Horizontal goniometer, Θ-2Θ
Minimum step size
0.0001º
Technologie
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

Messung
Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness
Wafer mapping
200 mm
C-to-C wafer loader
Yes
Goniometer configuration
Horizontal goniometer, Θ-2Θ
Minimum step size
0.0001º
Detector
PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X-ray tube anode material
Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo
Technologie
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ Powder

X-ray diffraction platform

Messung
3D structure / imaging
Contaminant detection and analysis
Crystal structure determination
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Pore size distribution
Residual stress
Surface area
Thin film metrology
Wafer mapping
No
C-to-C wafer loader
No
Goniometer configuration
Vertical goniometer, Θ-Θ
Minimum step size
0.001º
Detector
PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X-ray tube anode material
Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo, Ag
Technologie
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ Powder