Malvern Panalytical ofrece una gama versátil de espectrómetros de fluorescencia de rayos X y productos relacionados para el análisis elemental y de películas delgadas. Estos analizadores XRF son apropiados para una amplia gama de requisitos de análisis y rendimiento y entornos de operación. La gama de espectrómetros que va desde sistemas de fluorescencia de rayos X (XRF, por sus siglas en inglés) de laboratorio de dispersión de energía hasta sistemas de XRF de dispersión de longitud de onda de alto rendimiento y productos para la medición de semiconductores.

Los espectrómetros de XRF pueden configurarse con opciones de software especializado para tipos específicos de análisis de fluorescencia por rayos X. En combinación con módulos de aplicación (configuración de la aplicación, calibración y estándares) o como un paquete con productos de preparación de muestras, se crean soluciones analíticas completas. Todos los productos de Malvern Panalytical están respaldados por nuestro servicio de posventa y nuestra organización de servicio al cliente.

En nuestro centro de conocimientos, encontrará más información sobre las numerosas e interesantes aplicaciones de fluorescencia de rayos X (XRF) que son posibles con nuestros espectrómetros.

Zetium

Zetium

Excelencia elemental

Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario Be-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 160per 8h day - 240per 8h day
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 1

Epsilon 1

Analizador XRF pequeño, potente y portátil

Más detalles
Medición Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario F-Am
Resolución (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra Up to - 80per 8h day
Tecnología X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 4

Epsilon 4

Análisis elemental en la línea rápido y preciso

Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario F-Am
Resolución (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra Up to - 160per 8h day
Tecnología X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Información directa en sus procesos de producción

Más detalles
Medición Análisis elemental
Rango primario Na-Am
Resolución (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra on-line
Tecnología Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

Más detalles
Medición Identificación química, Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
Rendimiento de muestra up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Alto rendimiento de muestras

Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Cuantificación elemental
Rango primario B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 240per 8h day - 480per 8h day
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Excelencia elemental

Epsilon 1

Epsilon 1

Analizador XRF pequeño, potente y portátil

Epsilon 4

Epsilon 4

Análisis elemental en la línea rápido y preciso

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Información directa en sus procesos de producción

2830 ZT

2830 ZT

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

Axios FAST

Axios FAST

Alto rendimiento de muestras

Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental Análisis elemental Identificación química, Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental Metrología de película delgada, Análisis elemental, Cuantificación elemental
Rango primario Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

Excelencia elemental

Analizador XRF pequeño, potente y portátil

Análisis elemental en la línea rápido y preciso

Información directa en sus procesos de producción

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

Alto rendimiento de muestras

Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles Más detalles
Tipo de medición
Thin film metrology
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Identificación química
Tecnología
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Rango primario Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Resolución (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Rendimiento de muestra 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day