Introducción 

La espectrometría de fluorescencia de rayos X (XRF) es una técnica analítica no destructiva que se utiliza para obtener información elemental de los diferentes tipos de materiales. Esta se utiliza en diversas industrias y aplicaciones, como producción de cemento, producción de vidrio, minería, enriquecimiento de minerales, hierro, acero y metales no ferrosos, petróleo y petroquímica, polímeros e industrias relacionadas, productos farmacéuticos, productos de cuidado de la salud y sector medioambiental. Los sistemas de espectrometría generalmente se dividen en dos grupos principales: los sistemas de dispersión por longitud de onda (WDXRF) y los sistemas de dispersión de energía (EDXRF). La diferencia entre ambos radica en el sistema de detección. 

¿Qué es la WDXRF y cómo funciona?

El concepto básico de todos los espectrómetros es una fuente de radiación, una muestra y un sistema de detección. En espectrómetros de WDXRF, el tubo de rayos X que actúa como fuente irradia una muestra directamente, y la fluorescencia procedente de la muestra se mide con un sistema de detección de dispersión por longitud de onda. La radiación característica procedente de cada elemento individual se puede identificar mediante el análisis de los cristales que separan los rayos X en función de la longitud de onda o, por el contrario, de las energías. Este análisis se puede hacer mediante la medición de la intensidad de los rayos X en diferentes longitudes de onda, una tras otra (secuencial), o en posiciones fijas mediante la medición de la intensidad de los rayos X en diferentes longitudes de onda, todas al mismo tiempo (simultánea). ​

Ventajas de la espectrometría de WDXRF

  • Alta resolución, especialmente para elementos más livianos
  • Bajos límites de detección, especialmente para elementos más livianos
  • Análisis consistentes
  • Alto rendimiento

Axios FAST

Axios FAST

Alto rendimiento de muestras

Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Cuantificación elemental
Rango primario B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 240per 8h day - 480per 8h day
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Excelencia elemental

Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario Be-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 160per 8h day - 240per 8h day
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

Más detalles
Medición Identificación química, Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV
Rendimiento de muestra up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

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Alto rendimiento de muestras

Zetium

Zetium

Excelencia elemental

2830 ZT

2830 ZT

Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

Más detalles Más detalles Más detalles
Medición Metrología de película delgada, Análisis elemental, Cuantificación elemental Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental Identificación química, Metrología de película delgada, Análisis elemental, Detección y análisis de contaminantes, Cuantificación elemental
Rango primario B-Am Be-Am B-Am
Resolución (Mg-Ka) 35eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Rendimiento de muestra 240per 8h day - 480per 8h day 160per 8h day - 240per 8h day up to 25 wafers per hour
Tecnología Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)