Malvern Panalytical propose une gamme polyvalente de spectromètres de fluorescence X et de produits connexes dédiés à l'analyse élémentaire et de couches minces. Ces analyseurs par fluorescence X couvrent un large éventail d'exigences en matière d'analyse, de cadence et d'environnements d'exploitation. La gamme de spectromètres s'étend des spectromètres de fluorescence X de paillasse à dispersion d'énergie aux spectromètres de fluorescence X hautes performances à dispersion de longueur d'onde et comprend des produits dédiés à la mesure des semi-conducteurs.

Les spectromètres de fluorescence X peuvent être configurés avec des options logicielles dédiées pour des types spécifiques d'analyse par fluorescence X. Ils peuvent être associés à des modules d'application (paramétrage des applications, calibrations et étalons) ou fournis avec des produits de préparation d'échantillons pour des solutions d'analyse complètes. Tous les produits Malvern Panalytical sont couverts par notre service après-vente et maintenance.

Dans notre centre de connaissances, vous trouverez des informations supplémentaires sur les nombreuses applications de spectrométrie de fluorescence X possibles avec nos spectromètres.

Zetium

Zetium

L'excellence élémentaire

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 1

Epsilon 1

Analyseur de spectrométrie de fluorescence X petit, puissant et mobile

Plus de détails
Mesure Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Na-Am
Résolution (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Débit d'échantillon Up to - 80per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 4

Epsilon 4

Analyse élémentaire à proximité de ligne rapide et précise

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire C-Am
Résolution (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Débit d'échantillon Up to - 160per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Un aperçu direct de votre processus de production

Plus de détails
Mesure Elemental analysis
Plage élémentaire Na-Am
Résolution (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Débit d'échantillon on-line
Technologie Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Plus de détails
Mesure Identification chimique, Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
Débit d'échantillon up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Cadence d'analyse élevée

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

L'excellence élémentaire

Epsilon 1

Epsilon 1

Analyseur de spectrométrie de fluorescence X petit, puissant et mobile

Epsilon 4

Epsilon 4

Analyse élémentaire à proximité de ligne rapide et précise

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Un aperçu direct de votre processus de production

2830 ZT

2830 ZT

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Axios FAST

Axios FAST

Cadence d'analyse élevée

Plus de détails Plus de détails Plus de détails Plus de détails Plus de détails Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis Identification chimique, Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

L'excellence élémentaire

Analyseur de spectrométrie de fluorescence X petit, puissant et mobile

Analyse élémentaire à proximité de ligne rapide et précise

Un aperçu direct de votre processus de production

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Cadence d'analyse élevée

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Type de mesure
Métrologie des couches minces
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Identification chimique
Technologie
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Plage élémentaire Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Résolution (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day