Fonctionnalités

X’Pert³ MRD

Version standard pour la recherche et le développement des échantillons de couches minces, wafers (cartographie complète jusqu'à 100 mm) et matériaux solides. Les capacités d'analyses haute-résolution sont améliorées avec la précision inégalée du nouveau goniomètre haute résolution utilisant des encodeurs Heidenhain

X'Pert³ MRD XL

Le X'Pert³ MRD XL répond à toutes les exigences des analyses XRD haute résolution des semi-conducteurs, des couches minces, et des industries des matériaux de pointe. La cartographie complète de wafers jusqu'à 200 mm est possible. La version X'Pert³ amène une durée de vie plus longue pour les composants du faisceau incident (CRISP) et une disponibilité maximale avec les obturateurs et atténuateurs pneumatiques.

En simplifiant l'analyse des wafers jusqu'à 300 mm de diamètre, avec une option automatique et sophistiquée de chargeur de wafers, X'Pert³ MRD XL devient un outil de pointe pour le contrôle qualité des structures de couches minces industriels. 

X'Pert³ étendu MRD (XL)

Le X'Pert³ étendu MRD (XL) augmente la polyvalence de la gamme des systèmes X'Pert³ MRD. Un PreFIX supplémentaire permet de monter à la fois un miroir et un monochromateur haute-résolution, augmentant de manière significative l'intensité du faisceau incident.

On bénéficie ainsi d'une polyvalence d'application sans compromis sur la qualité des données à haute résolution diffraction des rayons X avec des intensités élevées et de réduction des temps de mesure telles que la cartographie de l'espace réciproque, et la reconfiguration de standard à étendu se fait en quelques minutes grâce au concept des PreFIX. Avec la deuxième génération de PreFIX, le passage d'une configuration à une autre est simple et le positionnement optique est encore plus précis que jamais.

X'Pert³ MRD (XL) In-plane

Avec le X'Pert³ MRD (XL) pour la diffraction in-plane ou dans le plan, il devient possible de mesurer la diffraction à partir des plans du réseau qui sont perpendiculaires à la surface de l'échantillon.

Géométrie standard et dans le plan sur un même système et un large éventail d'expériences de diffraction sur polycristallin et couches minces parfaites, ne sont que deux des nombreux avantages.

Spécifications

Flexibilité d'un système paré pour l'avenir

Les systèmes X'Pert³ MRD offrent des solutions avancées et innovantes de diffraction X de la recherche au développement et contrôle de procédé.
Les technologies utilisées rendent possible la mise à jour de tout type d'options et nouveaux développements hardware et logiciel à venir. 

Accessoires

X'Pert³ MRD (XL)

Detectors

PIXcel3D

Image

The first detector to bring 0D-1D-2D and 3D data to your diffractometer

The PIXcel3D is a unique 2D solid-state hybrid pixel detector. Each pixel is 55 microns x 55 microns and the detector array is 256 x 256 pixels. The detector, now based on Medipix3 technology, brings unrivalled signal to noise with its point spread function of one pixel and multiple energy discrimination levels.

Pour en savoir plus Demander un prix