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X'Pert3 MRD (XL)

La longue et prospère histoire des diffractomètres MRD continue avec une nouvelle génération – X’Pert³ MRD and X’Pert³ MRD XL. Les performances et la fiabilité accrues de la nouvelle plateforme ont augmenté les capacités d'analyse et la puissance dans les études des:

  • sciences des matériaux avancés
  • Technologies des couches minces scientifiques et industrielles
  • Caractérisations métrologiques dans le développement des procédés des semiconducteurs

Les deux systèmes traitent la même gamme d'applications avec la cartographie complètes de wafers jusqu'à 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).

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Accessoires

Detectors

PIXcel3D

Le premier détecteur à apporter des données 0D-1D-2D et 3D à votre diffractomètre

Le PIXcel3D est un détecteur à pixels 2D hybride à semi-conducteurs unique. Chaque pixel mesure 55 microns x 55 microns et l'ensemble de détection est de 256 x 256 pixels. Le détecteur, désormais basé sur la technologie Medipix3, apporte un rapport signal/bruit inégalé grâce à sa fonction de diffusion d'un seul pixel et à ses multiples niveaux de discrimination énergétique.

Général

Pack X'Pert³ MRD XL pour salle blanche

Plus d'environnements de mesure pour un investissement supplémentaire minimal

Le pack X'Pert3 MRD XL pour salle blanche comprend des solutions intelligentes, dont une unité de filtration pour ventilation, pour le système MRD XL, pouvant être installées sur votre instrument actuel ou fournies avec un nouvel instrument.

En filtrant l'air autour de vos échantillons de wafers semi-conducteurs, le pack MRD XL pour salle blanche vous permet d'éviter toute contamination lors de leur analyse. Vous pouvez ainsi effectuer des mesures dans un plus grand nombre d'environnements sans avoir à investir dans un nouvel instrument.

Automatisation X'Pert³ MRD XL

Une solution entièrement automatisée pour la métrologie complexe des empilements de couches

En tant que solution logicielle supplémentaire pour notre outil X'Pert3 MRD XL, l'automatisation peut être intégrée à votre instrument existant pour fournir un contrôle hôte conforme à la norme SECS/GEM.

Grâce à ces nouvelles fonctionnalités, le système MRD XL peut désormais jouer de sa modularité et de sa flexibilité dans un environnement de fabrication contrôlé par l'hôte. Cela permet de garantir un environnement de recherche ou de production sans contamination. 

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