自動X-Yマッピングステージ

ターンテーブルの上に追加のX-Y位置決めステージを使用すると、結晶方位や表面の歪みをユーザー定義のグリッドに簡単にマッピングできます。マッピングステージでは、カスタマイズ可能な表面スキャンを使用して、サンプル表面全体を包括的に調査できます。