X線回折装置（XRD）Empyreanシリーズ

Empyrean（エンピリアン）は、粉末、薄膜、ナノ材料、およびバルク試料の結晶相、化合物同定、結晶化度、応力（ストレス）、配向、格子定数等、結晶構造及び粒子サイズ測定のための小角散乱、薄膜の膜厚、密度を測るX線反射率測定まで多様な情報を解析するための装置です。これらのアプリケーションを実現するためのXRD装置に要求される技術要素であるX線管球、角度を正確に測るゴニオメータ、X線を計数する半導体検出器の3つの技術領域に究極のX線プラットフォーム開発に新しい基準を確立しました。
これは、近年の物質研究、材料開発の課題に対してMalvern Panalyticalが出した答えともいえる製品で、研究プロジェクトで要求される多様な応用法を長い期間にわたり支援します。

Empyrean（エンピリアン）は、完全な多目的研究用X線プラットフォームです。他のシステムとは異なり、将来のニーズにも対応できるように開発されています。

X線回折装置に要求される高い安定性と正確性を提供する要素技術

1. 高効率かつ長寿命のX線回折装置（XRD）用Empyrean X線管球

創立以来、Ｘ線管球を自社製造しています。目的や測定対象物に合わせて最適なＸ線源のご提案が可能です。

安定した強度の長寿命セラミックス管球
Cu, Cr, Co, Mo, Ag 等多様な波長ターゲットを用意
ノーマル、ファイン、高輝度ファインフォーカス他

熱圧着でターゲット材を接合した平滑なアノードは特に低角領域での吸収損失を大幅に軽減します。効率的な冷却方式で温度を抑え長寿命を実現しました。高エネルギー線源であるMo,Agを利用することでPDF解析、電池セルのoperando XRD 測定にも対応します。

ピクセルサイズが 55 μ m と非常に小さく、高い角度分解能が得られる半導体検出器です。また、走査方向のアレイ素子を積算できるため短時間で高速に測定できます。1 台で 0次元, 1次元, 2次元に対応します。これにより1分程度で高感度測定あるいは微量な試料での化合物同定を実現しています。

複数の異なる手法のX線回折（XRD）測定をソフトウェア上の設定のみで実施でき、材料の基本特性から研究開発向けの応用測定まで効率よくデータを取得することが可能です。
粉末XRD,薄膜XRD,X線反射率、微小部測定、小角散乱測定まで多様な測定を自動化できます。

粉末Ｘ線回折（ＸＲＤ）の基本、結晶相、化合物同定機能

粉末、微量試料、液体、錠剤、ウェハー、不定形、大型サンプルなどをさまざまなサンプルホルダを用いて測定することができます。たとえばエアセンシティブな金属材料はパウチのまま、またはドーム型サンプルホルダもお使いいただけます。反射測定から透過測定への切り替えも容易で配向性のある原薬、製剤や鉱物の評価も簡便に行うことができます。X線回折装置（XRD） Empyrean（エンピリアン）なら原料から成形品まで一台で物質の結晶情報が得られます。

従来型で 3 時間かかる高分解能測定結果も、高速半導体検出器を用いると１分で得られます。

成膜状態や多層構造を評価する薄膜用X線回折（XＲＤ）機能

逆格子空間マッピングからは格子面間隔を基にGaNに代表される化合物半導体に用いられるエピタキシャル膜の結晶緩和、組成、膜厚、モザイク度や超格子構造など多くの重要な層情報が得られます。わずか 30 秒でも逆格子空間マップが得られるため、サンプル間のスクリーニングや異なる面での多角的な層構造把握に有効です。 LED、高周波デバイス、パワーデバイスの基礎技術である化合物半導体の結晶性を解析する重要な解析技術の地位を確立しています。

平行化した X 線ビームの入射角を変化させ、異なる侵入深さのサンプルプロファイルを取得、電子デバイスに代表される薄膜サンプルの深さ方向別に結晶相の同定が可能です。

薄膜測定、反射率測定、極点測定、残留応力測定などで回転軸 ( φ )・煽り軸 ( χ )・X 軸・Y 軸・ Z 軸の 5 軸クレードルステージが活躍します。