X'Pert³ MRD XL

PIXcel^3Dは、独自の2D固体ハイブリッドピクセル検出器です。 各ピクセルは、55 ミクロン x 55 ミクロンで、検出器アレイは256 x 256 ピクセルです。 現在、Medipix3テクノロジーに基づく検出器は、1ピクセルの点像分布関数と、複数のエネルギー識別レベルにより、卓越した信号をノイズにもたらします。

X'Pert³ MRD XLクリーンルームパッケージは、ファンフィルターユニットなど、既存の機器に後付けしたり、新しい機器に追加したりできる、MRD XL用のスマートソリューションで構成されています。

MRD XLクリーンルームパッケージは、半導体ウェーハサンプルの周囲の空気をフィルタリングして、分析時の汚染を防止します。これにより、新しい機器に投資することなく、幅広い環境で測定することができます。

X'Pert³ MRD XLツールの追加ソフトウェアソリューションとして、既存システムの自動化を可能にし、SECS/GEMに準拠したホストコントロールを提供します。

これらの新機能により、MRD XLシステムは、そのモジュール性と柔軟性をホスト制御されたファブ環境で発揮することができるようになりました。これにより、汚染のない研究環境や生産環境を確保できるようになります。