SuperQ Thin Film

박막의 XRF 분석

SuperQ Thin Film은 PANalytical의 XRF 기반 계측 시스템 제품군과 함께 사용할 수 있는 소프트웨어 플랫폼으로, 공정 제어와 웨이퍼 분석이 더욱 정확하고 간편해집니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 전체에 걸쳐 층 및 스택 정보를 자동으로 빠르게 검증하며 다양한 층 유형과 스택에 대해 두께, 조성, 화학량론, 도펀트 수준 및 균일성을 계산합니다.
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특징

유용성 향상

이제 경험이 없는 직원도 최소한의 교육만으로 매일 반복되는 XRF 분석 작업을 일상적인 작업으로 편리하게 수행할 수 있습니다.


용이한 결과 확인

다양한 형식과 한 눈에 볼 수 있는 명확하고 차별된 색상 코딩을 통해 온라인으로 측정한 결과를 확인할 수 있습니다. 또한 결과를 네트워크 드라이브 또는 프린터로 자동 전송하여 보고서, 발행물 또는 프레젠테이션을 생성할 수 있습니다.


유용성 향상

SuperQ Thin Film은 파장 분산형 기반 분광계인 Malvern Panalytical XRF과 함께 사용하는 XRF 분석 소프트웨어 플랫폼인 Malvern Panalytical의 SuperQ에 기반하며 분광계 설정 및 작동의 모든 기능을 제공합니다. 분석 프로그램 어셈블리는 XRF 분석에 대한 반세기 이상의 Malvern Panalytical 전문성을 기반으로 하는 소프트웨어에 내장된 인텔리전스를 활용합니다. 이제 경험이 없는 직원도 최소한의 교육을 받으면 매일 반복되는 분석 작업을 일상적인 작업으로 편리하게 수행할 수 있습니다. 소프트웨어의 유용성을 향상시키기 위해 많은 기능이 제공됩니다.

사양

다양한 형식과 한 눈에 볼 수 있는 명확하고 차별된 색상 코딩을 통해 온라인으로 측정한 결과를 확인할 수 있습니다. 또한 결과를 네트워크 드라이브 또는 프린터로 자동 전송하여 보고서, 발행물 또는 프레젠테이션을 생성할 수 있습니다.