Тонкие пленки и слоистые материалы получили широкое распространение. Они используются в самых различных областях, от производства ювелирных изделий, сталей с покрытием или других металлов до интегральных схем. В производстве тонких пленок и многослойных материалов большое значение имеет точный контроль над толщиной и составом.

Благодаря сочетанию превосходной воспроизводимости с неразрушающей техникой измерения XRF является ценным методом анализа состава и толщины тонких пленок. Воспроизводимость измерений толщины с помощью XRF имеет точность ±1 ангстрем.

Традиционно процесс калибровки XRF для анализа тонких пленок был связан с определенными сложностями, особенно для многослойных структур. Обычно требуются калибровочные образцы с такой же структурой и составом, как анализируемые образцы. Такие калибровочные образцы имеют высокую стоимость и труднодоступны, если доступны вообще.

Модуль Stratos повышает ценность XRF для процесса метрологии тонких пленок, существенно упрощая и повышая гибкость процесса калибровки XRF. Stratos позволяет использовать калибровочные образцы, отличные от неизвестных элементов, а также применять сыпучие материалы для калибровки анализа тонких пленок и многослойных материалов.



Модуль Stratos включает в себя функцию Virtual Analyst, которая позволяет моделировать отклик XRF для сложных структур, мгновенно показывая, какие флуоресцентные линии лучше всего подходят для измерения вариаций толщины и уровней концентрации соответствующих слоев. Это существенно упрощает настройку метода для анализа тонких пленок. 


Stratos + Omnian: безэталонный анализ многослойных материалов

Модуль Stratos содержит лицензию на программное обеспечение приборов XRF от Malvern Panalytical , включая Zetium, Axios или MagiX и настольную серию Epsilon. Его можно сочетать с модулем Omnian. В системах с установленным модулем Omnian установочные образцы Omnian можно непосредственно использовать для анализа тонких пленок с помощью Stratos. В системах без модуля Omnian установочные образцы Omnian так же можно использовать для настройки Stratos. Модуль может поставляться вместе с новыми системами, а также может быть интегрирован в используемые приборы с программным обеспечением SuperQ или Epsilon.