Malvern Panalytical предлагает широкий спектр рентгенофлуоресцентных спектрометров (XRF) и сопутствующих продуктов для элементного анализа и анализа тонких пленок. Эти решения предназначены для широкого диапазона областей применения, в которых важную роль играют мощные аналитические возможности, скорость выполнения анализа и условия эксплуатации. Они представлены в широком диапазоне от настольных энергодисперсионных рентгенофлуоресцентных спектрометров до рентгенофлуоресцентных спектрометров с волновой дисперсией и оборудования для измерений на полупроводниках.

Эти приборы могут быть настроены с помощью специального программного обеспечения для определенных типов анализа. В сочетании с прикладными модулями (конфигурация, калибровка и стандарты) или в комплекте с оборудованием для подготовки образцов вы получаете полные аналитические решения. Вся продукция Malvern Panalytical поддерживается службой послепродажного обслуживания и отделом обслуживания клиентов.

В нашем Центре знаний вы найдете более подробную информацию о самых интересных способах применения рентгеновской флуоресценции (XRF) с помощью наших решений.

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium

Элементное превосходство

Epsilon 1

Небольшой и мощный

Epsilon 4

Быстрый и точный элементный анализ рядом с производственной линией

Epsilon Xflow

Прямой мониторинг производственного процесса

2830 ZT

Передовое решение для анализа тонких пленок полупроводников

Axios FAST

Высокая производительность

Подробнее Подробнее Подробнее Подробнее Подробнее Подробнее
Анализируемые свойства
Исследования тонких пленок
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Химический состав
Технология
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Диапазон элементов Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Разрешение (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Скорость обработки образца 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day
Theory of XRF, getting acquainted with the principles (booklet)

Whitepaper

Knowledge center

Want access to free online webinars, white papers, user manuals and much more?

View resources