X'Pert³ MRD

Универсальная система XRD для исследований и разработок

Новое поколение приборов X’Pert³ MRD и X’Pert³ MRD XL продолжает долгую и успешную историю дифрактометров для исследования материалов (MRD) от компании Malvern Panalytical. Повышенные производительность и надежность новой платформы предоставили дополнительные аналитические возможности для исследований рассеяния рентгеновских лучей в области: 

• современных материалов 
• научной и промышленной технологии тонких пленок 
• метрологических характеристик при производстве полупроводников

Обе системы подходят для одного и того же широкого диапазона применений с полным картированием пластин до 100 мм (X’Pert³ MRD) или 200 мм (X’Pert³ MRD XL).

Загрузить брошюру
Запрос предложения Связаться с отделом продаж

Особенности

Гибкость системы с расчетом на будущее

Системы X'Pert³ MRD представляют собой передовые инновационные решения для рентгенодифракционных задач — от исследований до разработки и контроля технологических процессов. Используемые технологии позволяют модернизировать все системы на месте, применяя все существующие опции и новые разработки в аппаратном и программном обеспечении.

X’Pert³ MRD

Стандартная версия для исследований и разработки используется с тонкопленочными образцами, пластинами (полное картирование до 100 мм) и твердыми материалами. Возможности анализа с высоким разрешением улучшены благодаря исключительной точности нового гониометра высокого разрешения с использованием энкодеров Heidenhain. 

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL отвечает всем требованиям рентгенодифракционного анализа высокого разрешения для производства полупроводников, тонких пленок и современных материалов. Возможно полное картирование пластин диаметром до 200 мм. Версия X’Pert3 отличается самым продолжительным сроком службы компонентов падающего пучка (CRISP) и максимальным временем безотказной работы с пневматическими заслонками и аттенюаторами пучка. 

Благодаря упрощению анализа пластин диаметром до 300 мм при помощи сложного опционального автоматического загрузчика пластин прибор X'Pert³ MRD XL становится современным инструментом контроля качества в промышленном производстве тонкослойных структур.

X'Pert³ Extended MRD (XL)

Версия X'Pert³ Extended MRD (XL) улучшает универсальность систем X'Pert³ MRD. Дополнительная монтажная платформа PreFIX позволяет устанавливать рентгеновское зеркало и монохроматор высокого разрешения, значительно увеличивая интенсивность падающего пучка. 

Универсальность достигается без снижения качества получаемых данных, обеспечивая рентгеновскую дифракцию высокого разрешения с высокой интенсивностью, уменьшенное время измерения при получении карты обратного пространства, а перенастройка от стандартной конфигурации к расширенной выполняется за считаные минуты благодаря концепции PreFIX. PreFIX 2-го поколения упрощает реконфигурацию, а позиционирование оптики становится более точным, чем когда-либо.

X'Pert³ MRD (XL) в плоскости

Система X'Pert³ MRD (XL) для дифракции в плоскости позволяет измерять дифракцию на плоскостях кристаллических решеток, перпендикулярных поверхности образца. 

Реализация стандартной геометрии и геометрии в плоскости в одной системе и широкий диапазон доступных экспериментов по дифракции на поликристаллических и высококачественных монокристаллических тонких пленках – вот только два из множества достоинств прибора. 

Характеристики

КорпусГониометр

Рентгеновские источники

Детекторы/Платформы для образцов

Размеры: 1370 (Ш) x 1131 (Г) x 1947 (В) ммГоризонтальный гониометрПолностью керамические рентгеновские трубки, изготовленные на специализированном предприятии Malvern Panalytical в стерильных условиях
Масса: 1150 кгРадиус: 320 ммСмена фокуса рентгеновской трубки пользователем без использования нестандартных инструментов за минимальное время.

Максимальный рабочий диапазон (в зависимости от принадлежностей): -40°< 2θ <160°Генератор мощностью 3 кВт, совместимый со всеми современными и будущими моделями рентгеновских трубок
Соответствует всем применимым международным нормативным документам для электрической системы, механических узлов, рентгеновской безопасности (при использовании анодов всех типов)Система прямого оптического отслеживания для повышения точности гониометра на протяжении всего срока службы с использованием точно выровненных энкодеров HeidenhainНа рынке доступны гибридные пиксельные детекторы с наименьшим размером пикселя (55 x 55 мкм2)
Система оснащена колесами для удобства при установке и перемещенииТочность на большом расстоянии: ±0,0025°5-осевая платформа, перемещение вдоль осей x, y, 100 x 100 мм2

Точность на малом расстоянии (0,5°): ±0,0004° 
Поворот по Chi: ±92°

Воспроизводимость установки угла: < 0,0002°
Поворот по Phi: 2 x 360°

Минимальный шаг: 0,0001°

Дополнительное оборудование

Детекторы

PIXcel3D

The first detector to bring 0D-1D-2D and 3D data to your diffractometer

The PIXcel3D is a unique 2D solid-state hybrid pixel detector. Each pixel is 55 microns x 55 microns and the detector array is 256 x 256 pixels. The detector, now based on Medipix3 technology, brings unrivalled signal to noise with its point spread function of one pixel and multiple energy discrimination levels.

Обслуживание

Решения для максимального увеличения отдачи 
от ваших инвестиций

Компания Malvern Panalytical предлагает широкий спектр услуг, позволяющих поддерживать ваши приборы 
в превосходном состоянии и обеспечивать их максимальную эффективность. Наши знания 
и поддержка обеспечивают оптимальное функционирование вашего прибора.

Поддержка

Обслуживание в течение всего срока службы
• Телефонная и дистанционная поддержка 
• Профилактическое обслуживание и проверки 
• Гибкие соглашения об обслуживании клиентов 
• Сертификаты характеристик 
• Обновления оборудования и программного обеспечения 
• Местная и международная поддержка

Обучение и методическая поддержка

Повышение эффективности ваших процессов
• Разработка/оптимизация подготовки образцов 
• Аналитические методологии 
• Решения под ключ для XRD 
• Операции с использованием пакетов IQ/OQ/PQ, обеспечение качества (GLP, ISO17025) или циклические/межлабораторные исследования 
• Автоматизация лабораторных процессов 
• Консультационные услуги

Обучение и образование

• Обучение на месте или в наших центрах компетенции 
• Широкий спектр базовых и продвинутых курсов по продуктам, приложениям и программному обеспечению

Основные области применения

X’Pert³ MRD и MRD XL компании Malvern Panalytical представляют собой комплексные рентгеновские системы, которые можно использовать в различных отраслях промышленности:


Полупроводники и монокристаллические пластины

Независимо от цели — исследования роста или проектирование устройства — измерения качества слоев, толщины, деформации и состава сплава с использованием рентгеновской дифракции (XRD) с высоким разрешением лежат в основе исследований и разработок электронных и оптоэлектронных многослойных полупроводниковых устройств.  Благодаря обширному выбору рентгеновских зеркал, монохроматоров и детекторов системы X’Pert3 MRD и MRD XL предлагают конфигурации с высоким разрешением, подходящие для различных материалов, от полупроводников с согласованием параметров кристаллических решеток и релаксированных буферных слоев до новых необычных слоев на нестандартных подложках


Поликристаллические твердые тела и тонкие пленки

Поликристаллические слои и покрытия являются важным компонентом различных тонкопленочных и многослойных устройств. Эволюция морфологии поликристаллического слоя во время осаждения является основным направлением исследований и разработок функциональных материалов.  X’Pert3 MRD и X’Pert3 MRD XL могут быть полностью оснащены различными щелями, рентгеновских зеркалом с параллельным пучком, поликапиллярной линзой, перекрестными щелями и монокапиллярами, чтобы предоставить полный выбор оптики падающего пучка для рефлектометрии, анализа напряжений, текстуры и идентификации фазы.


Ультратонкие пленки, наноматериалы и аморфные слои

Функциональные устройства могут содержать неупорядоченные, аморфные или нанокомпозитные тонкие пленки. Универсальность систем X’Pert3 MRD и MRD XL позволяет использовать несколько аналитических методов. Доступен ассортимент оптики высокого разрешения, щелей и коллиматоров из параллельных пластин, обеспечивающий оптимальные характеристики для методов с геометрией скользящего падения, дифракции в плоскости и рефлектометрии.


Измерения в условиях, отличных от окружающих

Изучение поведения материалов в различных условиях является важной частью исследования материалов и разработки процессов.  Системы X’Pert3 MRD и MRD XL разработаны для простого внедрения платформы для образца DHS1100 от Anton Paar, что позволяет проводить автоматические измерения при различных температурах и в инертной атмосфере.

Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.

Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology