X'Pert³ MRD XL Automation

複雑な積層計測用完全自動化ソリューション

X'Pert3 MRD XL ツールの追加ソフトウェアソリューションとして、既存システムの自動化を可能にし、SECS/GEMに準拠したホストコントロールを提供します。

これらの新機能により、MRD XLシステムは、そのモジュール性と柔軟性をホスト制御されたファブ環境で発揮することができるようになりました。これにより、汚染のない研究環境や生産環境を確保できるようになります。 

カタログダウンロード
見積依頼 デモ依頼 お問い合わせ

概要

MRD XL Automationは、当社の最先端のウェーハ分析装置にSECS/GEM機能を搭載し、これまで以上に迅速かつクリーンで効率的な半導体処理を可能にします。SECS/GEMプロトコルでホストコンピュータと定期的に双方向通信を行うことで、ウェーハの選択から測定、結果配信まで、ウェーハ解析の全工程を自動化することが可能です。

より迅速で効率的な分析に加え、完全自動化されたプロセスによって、人手を介する作業が不要となります。ウェハー分析では、人間が主な汚染要因となるため、この機能は、よりクリーンな研究・生産環境を確保する上で大きなメリットとなります。

特長と利点

[Multiple boxes icon.png] Multiple boxes icon.png

高度な自動車機能

[Award rosette icon.png] Award rosette icon.png

完全にカスタマイズ可能なオプション

[Jigsaw icon.png] Jigsaw icon.png

未来を見据えた機能

[Falling graph icon.png] Falling graph icon.png

モジュラアプローチ

[Shield icon.png] Shield icon.png

長い耐用年数

  • 高度な自動車機能
    MRD XL Automationソフトウェアを使用すると、ウェーハ分析プロセスの完全自動化が可能となり、ヒトがによる関与する作業がなくなります

  • フルカスタマイズ可能なオプション
    MRD XL Automationソフトウェアはフルカスタマイズ可能な枠組みを備えているため、ニーズに合わせた構成の調整が可能です

  • 未来を見据えた機能
    MRD XLオートメーションは、半導体の技術革新の最先端を行くオートメーションであるため、業界の急速な成長に対応したオペレーションを可能にします。

  • モジュラアプローチ
    X’Pert 3 MRD XLはモジュラシステムです。複数のツールと機能を利用できるため、企業のニーズに合わせて簡単に構成できます。このオールインワンアプローチを使えば、新しい機器に投資する必要はありません

  • 長い耐用年数
    MRD XLは、最高品質のサービスとサポートを提供しています。そして今後ともお客様の業務とともに成長していきます。

サービス

お客様の楽器が常に最高のコンディションで、最高のパフォーマンスを発揮できるように、私たちはさまざまなサービスを提供しています。当社のサービスエンジニアによるグローバルなカスタマーサポートネットワークにより、当社はいつでもアドバイス、テクニカルサポートを提供しています。どうぞお気軽にお問い合わせください!

  • 現場でのパーツの交換と調整
  • グローバルなカスタマーサポートネットワーク