SuperQ Thin Film

Para análise FRX de filmes finos

O SuperQ Thin Film é a plataforma de software utilizada nos sistemas de metrologia baseados em FRX da PANalytical. A plataforma de software SuperQ Thin Film torna o controle de processos e a análise de wafer mais fáceis do que nunca. Proporcionando uma verificação rápida e automática das informações de camada e pilha em todo o wafer, o software calcula espessura, composição, estequiometria, níveis dopantes e uniformidade para uma ampla gama de tipos de camadas e pilhas.
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Características

Aprimoramento da usabilidade

A análise de FRX do dia a dia é uma tarefa de rotina que pode ser executada prontamente por pessoal inexperiente apenas com um mínimo de instruções.


Visualize os resultados facilmente

Os resultados podem ser visualizados on-line à medida que as medições são feitas, em uma variedade de formatos e com codificações de cores distinta, permitindo a tomada de decisões rápidas e sem indecisões. Além disso, os resultados podem ser transmitidos automaticamente para unidades de rede ou impressoras para gerar relatórios, publicações ou apresentações.


Presente para melhorar a usabilidade

O SuperQ Thin Film é baseado no SuperQ da Malvern Panalytical, a plataforma de software de análise FRX, usada com os espectrômetros Malvern Panalytical XRF (base dispersiva de comprimento de onda), oferecendo todas as funções para configurar e operar seu espectrômetro. A montagem do programa analítico é facilitada pela inteligência incorporada ao software com base na experiência de meio século da Malvern Panalytical em análise FRX. A análise de FRX do dia a dia é uma tarefa de rotina que pode ser executada prontamente por pessoal inexperiente após o mínimo de instrução. Muitos recursos estão presentes para melhorar a usabilidade do software.

Especificações

Os resultados podem ser visualizados on-line à medida que as medições são feitas, em uma variedade de formatos e com codificações de cores distinta, permitindo a tomada de decisões rápidas e sem indecisões. Além disso, os resultados podem ser transmitidos automaticamente para unidades de rede ou impressoras para gerar relatórios, publicações ou apresentações.