Como alcançar resultados reproduzíveis entre ferramentas, vez após vez

Na produção moderna de semicondutores, onde a precisão é crítica, inconsistências na reprodutibilidade de medições podem comprometer o controle de processo, rendimento e desempenho. A fluorescência de raios X por dispersão de comprimento de onda (WD-XRF) é uma técnica de metrologia importante que tem provado atender a critérios rigorosos quando se trata de resultados reproduzíveis em um espectrômetro individual. Mas a reprodutibilidade das medições nem sempre é suficiente – muitas vezes, os resultados precisam ser comparados entre várias ferramentas para maximizar a produtividade.

O software ToolMatch da Malvern Panalytical torna possível obter resultados muito semelhantes de diferentes ferramentas, melhorando a precisão geral dos seus resultados para qualidade e consistência ótimas.

Como funciona?

O software ToolMatch pode ser facilmente combinado com software de importação/exportação de aplicativos para criar receitas idênticas em espectrômetros, o que, combinado com correções de Combinação de Ferramentas (TMC), fornece resultados quase indistinguíveis. Em comparação com a combinação manual, que pode ser demorada e muitas vezes só pode ser realizada por especialistas, agora isso pode ser ativado e concluído por um operador rotineiro.

Porque essas medições são ativadas pelo operador rotineiro, a necessidade de intervenção de especialistas é significativamente reduzida. Isso evita redundâncias, previne atrasos e aumenta a eficiência.

Sem a necessidade de correção manual por um operador, a eficiência do processo é significativamente melhorada.

Aqui está como o ToolMatch melhora a precisão entre múltiplos espectrômetros, em quatro etapas.

Passo 1: Uma receita (ou “aplicação”) é criada no software analítico SuperQ, com medições de referência incluindo aplicação, monitor, padrões de calibração, calibração, atualização de calibração, padrões de wafer e conjunto TMC da ferramenta original (“Mãe”).

Passo 2: A receita completa é transferida para a ferramenta secundária (“Filha”) via a funcionalidade de Exportação/Importação de Aplicações, que está incluída no pacote de software ToolMatch.

Passo 3: Na ferramenta Filha, todos os wafers de calibração são medidos sob condições idênticas às da ferramenta Mãe, e a calibração é completada com o toque de um botão. Em seguida, a medição dos wafers de referência do ToolMatch é executada, incluindo verificações na localização exata da medição do wafer.

Passo 4: Linhas de correção são calculadas com base na receita da ferramenta Mãe e nos valores medidos na ferramenta Filha. Eles são armazenados em um conjunto TMC, que é usado para corrigir medições desconhecidas futuras, permitindo que os mesmos resultados sejam alcançados na ferramenta Filha como na ferramenta Mãe. Se, apesar da correção do monitor do instrumento, a medição de verificação de qualidade falhar, as medições ToolMatch trarão os resultados de volta em linha com os resultados esperados.

Passo 5: Execute suas medições rotineiras. As correções do ToolMatch serão aplicadas automaticamente.

De onde vêm as diferenças entre espectrômetros?

O ambiente de controle de produção atual define demandas rígidas de processo, muitas vezes bem abaixo de 1% ou até 0,1% relativo. Como resultado, podemos ver diferenças entre espectrômetros, mesmo que estes sejam mantidos dentro das especificações.

Por exemplo, em sinais que vão de taxas de contagem baixas a muito altas, isso pode ser causado por pequenas desvios na linearidade do detector (especificado para ser ±1% relativo) ou propriedades do cristal. Com o ToolMatch, essas diferenças podem ser automaticamente corrigidas.

Veja o ToolMatch em ação

Nesta nota de aplicação, leia sobre como o ToolMatch pode ser usado para uma aplicação contendo Al, Cu e Ti, que foi medida em quatro diferentes analisadores de wafers 2830 ZT da Malvern Panalytical.

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