Características
Capacidade e velocidade contínuas
O tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento.
Máximo de tempo de operação
Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves.
A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.
Facilidade de uso
O 2830 ZT é fornecido com o software SuperQ avançado, que inclui o pacote de software FP Multi desenvolvido especificamente para análises de multicamadas. A interface de usuário do software garante que até mesmo operadores inexperientes possam realizar análises totalmente automatizadas dos parâmetros fundamentais das multicamadas.
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
FALMO-2G
O FALMO-2G se integra facilmente a qualquer laboratório ou fábrica: desde o simples carregamento manual do transportador até total automação. Totalmente flexível, seu design permite que o gerente da fábrica escolha entre FOUP, SMIF ou portas de carga da cassete aberto, com uma configuração de porta de carga simples ou dupla. Todas as várias configurações do FALMO-2G são compatíveis com o software GEM300. O espaço ocupado pelo FALMO-2G foi minimizado, sem comprometer a flexibilidade e a funcionalidade
Aplicações
Operação flexível
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
Especificação
Trocador de amostras | Tubo de raios X | Canais | Tensão |
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Wafers de 100 - 300 mm por carregamento direto; tamanhos menores podem ser manipulados por adaptadores menores | SST-mAX75, ponta afunilada, tubo de janela frontal, SST-mAX50 um opcional | Até 24 canais fixos | Compatível com SEMI S2/S8 |
As opções de carregamento disponíveis são FOUP, SMIF, por cassete aberto e manual | Tamanho do ponto de medição 40 mm e 10 mm; outros tamanhos do ponto possíveis | Máx. 2 goniômetros | Total conformidade com SECS/GEM |
Produtividade de até 25 wafers por hora | Tecnologia ZETA | Canal de boro de desempenho ultra-alto para a sensibilidade e a produtividade mais altas | |
Canais de alto desempenho especiais para alta sensibilidade e alta produtividade disponíveis para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix | |||
Argônio/metano não inflamável | |||
Detetor de fluxo | |||
Detetor vedado
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Leitor 10 º-100 º 2θ
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Cintilação com janela de Be de 300 µm
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Suporte
Serviços
Soluções para maximizar o retorno do seu investimento
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
Suporte
Manutenção para sempre
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
Agregando valor aos seus processos
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Treinamento e formação
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