2830 ZT 预安装手册
Número da versão: 4
O analisador de wafers de fluorescência de raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF) 2830 ZT oferece recursos de última geração para medir a espessura e a composição de filme. Projetado especificamente para o setor de semicondutores e de armazenamento de dados, o analisador de wafers 2830 ZT possibilita determinar a composição das camadas, a espessura, o nível de dopantes e a uniformidade de superfície para vários tipos de wafers de até 300 mm.
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O tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento.
Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves.
A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.
O 2830 ZT é fornecido com o software SuperQ avançado, que inclui o pacote de software FP Multi desenvolvido especificamente para análises de multicamadas. A interface de usuário do software garante que até mesmo operadores inexperientes possam realizar análises totalmente automatizadas dos parâmetros fundamentais das multicamadas.
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
O FALMO-2G se integra facilmente a qualquer laboratório ou fábrica: desde o simples carregamento manual do transportador até total automação. Totalmente flexível, seu design permite que o gerente da fábrica escolha entre FOUP, SMIF ou portas de carga da cassete aberto, com uma configuração de porta de carga simples ou dupla. Todas as várias configurações do FALMO-2G são compatíveis com o software GEM300. O espaço ocupado pelo FALMO-2G foi minimizado, sem comprometer a flexibilidade e a funcionalidade
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
| Tamanho da amostra | Wafers de 100 - 300 mm por carregamento direto; tamanhos menores podem ser manipulados por adaptadores menores |
|---|---|
| Tipos de amostras | As opções de carregamento disponíveis são FOUP, SMIF, por cassete aberto e manual |
| Rendimento | Produtividade de até 25 wafers por hora |
| Compatibilidade do sistema |
|
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|---|---|---|
| Faixa de tamanho de medição | Tamanho do ponto de medição 40 mm e 10 mm; outros tamanhos do ponto possíveis | |
| Tecnologia | Tecnologia ZETA |
| Canais | Até 24 canais fixos
Máx. 2 goniômetros Canal de boro de desempenho ultra-alto para a sensibilidade e a produtividade mais altas Canais de alto desempenho especiais para alta sensibilidade e alta produtividade disponíveis para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix Argônio/metano não inflamável Detetor de fluxo
Detetor vedado
Leitor 10 º-100 º 2θ
Cintilação com janela de Be de 300 µm
|
|---|
| Teste regulamentar | Compatível com SEMI S2/S8
Total conformidade com SECS/GEM
|
|---|
Os acessórios disponíveis para o 2830 ZT estão listados abaixo.
Também oferecemos uma variedade de serviços analíticos, desde análises elementares, estruturais e morfológicas até serviços de validação e qualificação. Saiba mais sobre os serviços de teste XRF aqui.
Número da versão: 4
Número da versão: 4
Número da versão: 2
Por favor, entre em contato com o suporte para adquirir a última versão do software.
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
Manutenção para sempre
Agregando valor aos seus processos
O tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento.
Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves.
A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.
O 2830 ZT é fornecido com o software SuperQ avançado, que inclui o pacote de software FP Multi desenvolvido especificamente para análises de multicamadas. A interface de usuário do software garante que até mesmo operadores inexperientes possam realizar análises totalmente automatizadas dos parâmetros fundamentais das multicamadas.
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
O FALMO-2G se integra facilmente a qualquer laboratório ou fábrica: desde o simples carregamento manual do transportador até total automação. Totalmente flexível, seu design permite que o gerente da fábrica escolha entre FOUP, SMIF ou portas de carga da cassete aberto, com uma configuração de porta de carga simples ou dupla. Todas as várias configurações do FALMO-2G são compatíveis com o software GEM300. O espaço ocupado pelo FALMO-2G foi minimizado, sem comprometer a flexibilidade e a funcionalidade
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
| Tamanho da amostra | Wafers de 100 - 300 mm por carregamento direto; tamanhos menores podem ser manipulados por adaptadores menores |
|---|---|
| Tipos de amostras | As opções de carregamento disponíveis são FOUP, SMIF, por cassete aberto e manual |
| Rendimento | Produtividade de até 25 wafers por hora |
| Compatibilidade do sistema |
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|---|---|---|
| Faixa de tamanho de medição | Tamanho do ponto de medição 40 mm e 10 mm; outros tamanhos do ponto possíveis | |
| Tecnologia | Tecnologia ZETA |
| Canais | Até 24 canais fixos
Máx. 2 goniômetros Canal de boro de desempenho ultra-alto para a sensibilidade e a produtividade mais altas Canais de alto desempenho especiais para alta sensibilidade e alta produtividade disponíveis para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix Argônio/metano não inflamável Detetor de fluxo
Detetor vedado
Leitor 10 º-100 º 2θ
Cintilação com janela de Be de 300 µm
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| Teste regulamentar | Compatível com SEMI S2/S8
Total conformidade com SECS/GEM
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Os acessórios disponíveis para o 2830 ZT estão listados abaixo.
Também oferecemos uma variedade de serviços analíticos, desde análises elementares, estruturais e morfológicas até serviços de validação e qualificação. Saiba mais sobre os serviços de teste XRF aqui.
Número da versão: 4
Número da versão: 4
Número da versão: 2
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