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2830 ZT

Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados

O analisador de wafers de fluorescência de raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF) 2830 ZT oferece recursos de última geração para medir a espessura e a composição de filme. Projetado especificamente para o setor de semicondutores e de armazenamento de dados, o analisador de wafers 2830 ZT possibilita determinar a composição das camadas, a espessura, o nível de dopantes e a uniformidade de superfície para vários tipos de wafers de até 300 mm.

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Características

Capacidade e velocidade contínuas

O tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento.

Máximo de tempo de operação

Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves. 

A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.

Facilidade de uso

O 2830 ZT é fornecido com o software SuperQ avançado, que inclui o pacote de software FP Multi desenvolvido especificamente para análises de multicamadas. A interface de usuário do software garante que até mesmo operadores inexperientes possam realizar análises totalmente automatizadas dos parâmetros fundamentais das multicamadas.
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.

FALMO-2G

O FALMO-2G se integra facilmente a qualquer laboratório ou fábrica: desde o simples carregamento manual do transportador até total automação. Totalmente flexível, seu design permite que o gerente da fábrica escolha entre FOUP, SMIF ou portas de carga da cassete aberto, com uma configuração de porta de carga simples ou dupla. Todas as várias configurações do FALMO-2G são compatíveis com o software GEM300. O espaço ocupado pelo FALMO-2G foi minimizado, sem comprometer a flexibilidade e a funcionalidade 

Aplicações

Operação flexível

O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.

Especificação

Trocador de amostrasTubo de raios XCanaisTensão
Wafers de 100 - 300 mm por carregamento direto; tamanhos menores podem ser manipulados por adaptadores menoresSST-mAX75, ponta afunilada, tubo de janela frontal, SST-mAX50  um opcionalAté 24 canais fixosCompatível com SEMI S2/S8
As opções de carregamento disponíveis são FOUP, SMIF, por cassete aberto e manualTamanho do ponto de medição 40 mm e 10 mm; outros tamanhos do ponto possíveisMáx. 2 goniômetrosTotal conformidade com SECS/GEM
Produtividade de até 25 wafers por horaTecnologia ZETACanal de boro de desempenho ultra-alto para a sensibilidade e a produtividade mais altas
Canais de alto desempenho especiais para alta sensibilidade e alta produtividade disponíveis para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix
Argônio/metano não inflamável
Detetor de fluxo


Detetor vedado



Leitor 10 º-100 º 2θ



Cintilação com janela de Be de 300 µm

Suporte

Serviços

Soluções para maximizar o retorno do seu investimento

Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.

Suporte

Manutenção para sempre

  • Suporte remoto e por telefone
  • Manutenção preventiva e verificações
  • Contrato de atendimento flexível ao cliente
  • Upgrades de hardware e software
  • Suporte local e global

Conhecimento

Agregando valor aos seus processos

  • Metodologias analíticas 
  • Serviços de consultoria

Treinamento e formação

  • Treinamento presencial ou em nossos centros de competência
  • Ampla variedade de cursos básicos e avançados sobre produtos, aplicativos e softwares

Serviços de análise e materiais de calibração

  • Serviços e análises especializadas (XRF)