Comment obtenir des résultats reproductibles avec différents outils, à chaque fois

Dans la production moderne de semi-conducteurs, où la précision est essentielle, les incohérences dans la reproductibilité des mesures peuvent compromettre le contrôle du processus, le rendement et la performance. La fluorescence X par dispersion de longueur d’onde (WD-XRF) est une technique de métrologie importante qui a prouvé qu’elle répond aux critères stricts en termes de résultats reproductibles sur un spectromètre individuel. Mais la reproductibilité des mesures ne suffit pas toujours – souvent, les résultats doivent être harmonisés entre différents outils, afin de maximiser le débit.

Le logiciel ToolMatch de Malvern Panalytical permet d’obtenir des résultats étroitement concordants entre différents outils, améliorant ainsi l’exactitude globale de vos résultats pour une qualité et une cohérence optimales.

Comment ça fonctionne ?

Le logiciel ToolMatch peut être facilement combiné avec le logiciel d’import/export d’applications pour créer des recettes identiques sur des spectromètres, qui, combinées avec les corrections d’Harmonisation des Outils (TMC), offrent des résultats presque indiscernables. Comparée à l’harmonisation manuelle, qui peut être chronophage et souvent réalisable uniquement par des experts, cette opération peut désormais être activée et complétée par un opérateur de routine.

Parce que ces mesures sont activées par l’opérateur de routine, le besoin d’une intervention d’expert est considérablement réduit. Cela évite des redondances, prévient les retards, et augmente l’efficacité.

Sans la nécessité de corrections manuelles par un opérateur, l’efficacité du processus est considérablement améliorée.

Voici comment ToolMatch améliore la précision entre plusieurs spectromètres, en quatre étapes.

Étape 1 : Une recette (ou « application ») est créée dans le logiciel analytique SuperQ, avec des mesures de référence incluant l’application, le moniteur, les standards de calibration, la calibration, la mise à jour de calibration, les motifs de wafer, et le TMC défini à partir de l’outil initial (« Mère »).

Étape 2 : La recette complète est transférée à l’outil secondaire (« Fille ») via la fonctionnalité d’Export/Import d’Application, incluse dans le package logiciel ToolMatch.

Étape 3 : Sur l’outil Fille, tous les wafers de calibration sont mesurés dans les mêmes conditions que sur l’outil Mère, et la calibration est complétée en appuyant sur un bouton. Ensuite, la mesure des wafers de référence ToolMatch est exécutée, comprenant des vérifications sur l’emplacement exact de la mesure du wafer.

Étape 4 : Des lignes de correction sont calculées en fonction de la recette de l’outil Mère et des valeurs mesurées sur l’outil Fille. Elles sont stockées dans un ensemble TMC, qui est utilisé pour corriger les futures mesures inconnues, permettant d’obtenir les mêmes résultats sur l’outil Fille que sur l’outil Mère. Si, malgré la correction du moniteur de l’instrument, la mesure de contrôle qualité échoue, les mesures ToolMatch ramèneront les résultats en ligne avec les résultats attendus.

Étape 5 : Effectuez vos mesures de routine. Les corrections ToolMatch seront appliquées automatiquement.

D’où viennent les différences entre les spectromètres ?

L’environnement de contrôle de production d’aujourd’hui impose des exigences de processus strictes, souvent bien en dessous de 1% ou même 0,1% relatif. En conséquence, nous pouvons observer des différences entre les spectromètres, même si les spectromètres sont maintenus dans les spécifications.

Par exemple, pour des signaux qui vont de faibles à très hauts taux de comptage, cela pourrait être causé par de petites déviations dans la linéarité du détecteur (spécifiée pour être ±1% relatif) ou les propriétés du cristal. Avec ToolMatch, ces différences peuvent être automatiquement corrigées.

Voir ToolMatch en action

Dans cette note d’application, lisez comment ToolMatch peut être utilisé pour une application contenant Al, Cu, et Ti, qui a été mesurée sur quatre différents analyseurs de wafer 2830 ZT de Malvern Panalytical.

Vous voulez en savoir plus sur l’optimisation de votre flux de travail de semi-conducteurs ? Contactez-nous et nous vous aiderons à construire la boîte à outils analytique dont vous avez besoin pour alimenter l’avenir.