Qu'est-ce que la fluorescence X ?

La fluorescence X (XRF) est une technique d'analyse qui peut être utilisée pour déterminer la composition chimique d'une grande variété de types d'échantillons, y compris les solides, les liquides, les boues et les poudres libres. La fluorescence X est également utilisée pour déterminer l'épaisseur et la composition des couches et des revêtements. Elle peut analyser des éléments allant du béryllium (Be) à l'uranium (U) dans des gammes de concentrations allant de 100 wt% à des niveaux inférieurs au ppm.

Quels sont les avantages de l'analyse par spectrométrie de fluorescence X ?

L'analyse par spectrométrie de fluorescence X est robuste, combinant haute précision et exactitude avec une préparation d'échantillons simple et rapide. Elle peut être facilement automatisée pour une utilisation dans des environnements industriels à rendement élevé. En outre, la fluorescence X fournit des informations qualitatives et quantitatives sur un échantillon. Une combinaison simple d'informations sur la nature du contenu et les quantités permet également une analyse rapide (semi-quantitative).

Principes à l'origine de la fluorescence X

La fluorescence X est une méthode d'émission atomique, similaire à la spectroscopie d'émission optique (OES), à la spectrométrie d'émission plasma (ICP) et à l'analyse par activation neutronique (spectroscopie gamma). Ces méthodes mesurent la longueur d'onde et l'intensité de la « lumière » (les rayons X dans ce cas) émise par les atomes énergisés de l'échantillon. En fluorescence X, l'irradiation par un faisceau de rayons X primaire depuis un tube à rayons X provoque l'émission de rayons X fluorescents dotés d'énergies discrètes caractéristiques des éléments présents dans l'échantillon. 

Détermination de la composition élémentaire

La technologie utilisée pour la séparation (dispersion), l'identification et la mesure de l'intensité du spectre de fluorescence X d'un échantillon donne lieu à deux principaux types de spectromètre : les systèmes à dispersion de longueur d'onde (WDXRF) et à dispersion d'énergie (EDXRF).

Analyseurs par fluorescence X

Nous proposons une grande variété de solutions de fluorescence X pour l'analyse de la composition élémentaire d'une large gamme de matériaux et d'applications, ainsi que des solutions de dispersion de longueur d'onde et d'énergie. Découvrez toutes nos solutions dans le tableau ci-dessous :

Zetium

Zetium

L'excellence élémentaire

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Gamme Epsilon

Gamme Epsilon

Analyse élémentaire rapide et précise de et en ligne

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Na-Am
Résolution (Mg-Ka) 145eV
LLD 1 ppm - 100%
Débit d'échantillon Up to - 160per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Cadence d'analyse élevée

Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Plus de détails
Mesure Identification chimique, Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV
Débit d'échantillon up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

L'excellence élémentaire

Gamme Epsilon

Gamme Epsilon

Analyse élémentaire rapide et précise de et en ligne

Axios FAST

Axios FAST

Cadence d'analyse élevée

2830 ZT

2830 ZT

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Plus de détails Plus de détails Plus de détails Plus de détails
Mesure Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Elemental quantification Identification chimique, Métrologie des couches minces, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Plage élémentaire Be-U Na-Am Be-U Be-U
Résolution (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Gamme Epsilon

Axios FAST

2830 ZT

Zetium Gamme Epsilon Axios FAST 2830 ZT

L'excellence élémentaire

Analyse élémentaire rapide et précise de et en ligne

Cadence d'analyse élevée

Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Plus de détails Plus de détails Plus de détails Plus de détails
Type de mesure
Métrologie des couches minces
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
Identification chimique
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Plage élémentaire Be-U Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Résolution (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour