Spectrométrie par fluorescence des rayons X et applications de spectrométrie de fluorescence X
La fluorescence X (XRF) est une technique d'analyse qui peut être utilisée pour déterminer la composition chimique d'une grande variété de types d'échantillons, y compris les solides, les liquides, les boues et les poudres libres. La fluorescence X est également utilisée pour déterminer l'épaisseur et la composition des couches et des revêtements. Elle peut analyser des éléments allant du béryllium (Be) à l'uranium (U) dans des gammes de concentrations allant de 100 wt% à des niveaux inférieurs au ppm.
L'analyse par spectrométrie de fluorescence X est robuste, combinant haute précision et exactitude avec une préparation d'échantillons simple et rapide. Elle peut être facilement automatisée pour une utilisation dans des environnements industriels à rendement élevé. En outre, la fluorescence X fournit des informations qualitatives et quantitatives sur un échantillon. Une combinaison simple d'informations sur la nature du contenu et les quantités permet également une analyse rapide (semi-quantitative).
La fluorescence X est une méthode d'émission atomique, similaire à la spectroscopie d'émission optique (OES), à la spectrométrie d'émission plasma (ICP) et à l'analyse par activation neutronique (spectroscopie gamma). Ces méthodes mesurent la longueur d'onde et l'intensité de la « lumière » (les rayons X dans ce cas) émise par les atomes énergisés de l'échantillon. En fluorescence X, l'irradiation par un faisceau de rayons X primaire depuis un tube à rayons X provoque l'émission de rayons X fluorescents dotés d'énergies discrètes caractéristiques des éléments présents dans l'échantillon.
La technologie utilisée pour la séparation (dispersion), l'identification et la mesure de l'intensité du spectre de fluorescence X d'un échantillon donne lieu à deux principaux types de spectromètre : les systèmes à dispersion de longueur d'onde (WDXRF) et à dispersion d'énergie (EDXRF).
Nous proposons une grande variété de solutions de fluorescence X pour l'analyse de la composition élémentaire d'une large gamme de matériaux et d'applications, ainsi que des solutions de dispersion de longueur d'onde et d'énergie. Découvrez toutes nos solutions dans le tableau ci-dessous :
![]() ZetiumL'excellence élémentaire |
![]() Gamme EpsilonAnalyse élémentaire rapide et précise de et en ligne |
![]() Axios FASTCadence d'analyse élevée |
![]() 2830 ZTSolution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs |
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Type de mesure | ||||
Métrologie des couches minces | ||||
Analyse élémentaire | ||||
Détection et analyse de contaminants | ||||
Quantification élémentaire | ||||
Identification chimique | ||||
Technologie | ||||
Fluorescence X à dispersion de longueur d'onde (WDXRF) | ||||
Fluorescence X à dispersion d'énergie (EDXRF) | ||||
Plage élémentaire | Be-Am | F-Am | B-Am | B-Am |
LLD | 0.1 ppm - 100% | 1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% | 0.1 ppm - 100% |
Résolution (Mg-Ka) | 35eV | 145eV | 35eV | 35eV |
Débit d'échantillon | 160per 8h day - 240per 8h day | Up to - 160per 8h day | 240per 8h day - 480per 8h day | up to 25 wafers per hour |