큰 입자와 응집체는 CMP 화합물의 성능 저하에 큰 영향을 줄 수 있습니다. 크기 및 제타 전위 측정은 응집체의 형성으로 이어질 실리카 알갱이 사이의 상호 작용을 연구하는데 사용됩니다.
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