X선 형광 분광기(XRF)

원소 조성 분석용 전문가 XRF 분광기

XRF 분광기는 특정 유형의 X선 형광 분석을 위해 전용 소프트웨어 옵션으로 구성할 수 있습니다. 애플리케이션 모듈(애플리케이션 구성, 교정 및 표준)과 결합하거나 패키지를 샘플 준비 제품과 함께 사용하면 종합적인 분석 솔루션이 완성됩니다. 사후 및 고객 서비스 조직에서 모든 Malvern Panalytical 제품을 지원합니다.

분광기를 적용할 수 있는 XRF 응용 분야에 대한 자세한 내용을 당시 지식 센터에서 확인할 수 있습니다.

Zetium

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구성요소의 탁월함

자세한 내용은
Epsilon 1

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작고 강력한 휴대용 XRF 분석기

자세한 내용은
Epsilon 4

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신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

자세한 내용은
Epsilon Xflow

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생산 공정에 대한 직접적인 통찰력

자세한 내용은
2830 ZT

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고급 반도체 박막 계측학 솔루션

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Axios FAST

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고속 샘플 처리

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측정 유형
박막 계측학
원소 분석
오염물 검출 및 분석
원소 정량화
입자의 화학적 성분
기술 유형
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
원소 범위 Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
해상도(Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
샘플 처리량 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day