2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

2830 ZT 파장 분산형 X선 형광(WDXRF) 웨이퍼 분석기는 필름 두께와 구조 측정을 위한 완벽한 기능을 갖추고 있습니다. 반도체 및 데이터 저장 산업을 위해 특수하게 설계된 2830 ZT 웨이퍼 분석기는 최대 300mm에 이르는 다양한 웨이퍼에 대해 층 구조, 두께, 불순물 수준, 표면 균일성을 측정할 수 있습니다.

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특징

성능과 속도의 지속

4kW SST-mAX X선관은 혁신적인 ZETA 기술을 기반으로 X선관의 노화를 방지합니다. '새로운 튜브'의 성능은 전체 수명 기간에 걸쳐 유지되며 감도가 높고, ZETA 기술에 힘입어 튜브의 전체 수명 기간 동안 신속한 분석 및 짧은 측정 시간이 보장됩니다. ZETA 기술은 유실 검량과 재검량의 필요성을 크게 줄여 생산성과 기기 가동 시간을 늘려줍니다.

가동 시간 최대화

기존의 X선관은 텅스텐이 증발하면서 선관의 베릴륨 창 내부에 증착을 유발하는 문제가 있었습니다. 그러한 X선관을 사용하려면, 특히 경원소의 경우 강도 감소를 보상하기 위한 정기적인 유실 보정이 필요합니다. 

2830 ZT에는 SST-mAX Tube가 구현되어 유실 문제가 해결되었으며, 이를 통해 가동 시간을 최대한으로 늘리고 장기간에 걸쳐 기기의 정밀도를 유지합니다.

사용 용이성

2830 ZT는 다층 분석을 위해 특별히 설계된 FP Multi 소프트웨어 패키지를 비롯하여 고급 SuperQ 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 소프트웨어의 사용자 인터페이스를 통해 비숙련 작업자도 완전히 자동화된 다층의 기본 매개변수 분석을 수행할 수 있습니다.
기기의 SuperQ 소프트웨어에 포함된 사용하기 쉬운 다양한 모듈은 연구자와 엔지니어가 유연하게 작동할 수 있도록 설계했습니다. 또한 방식 전환과 사용자 선호도에 맞춘 기기 변수의 조절도 용이합니다.

FALMO-2G

FALMO-2G는 단순한 수동 운반체 로딩에서 완전 자동화 설비에 이르기까지 어떤 연구소 또는 제조 공장에도 쉽게 설치할 수 있습니다. 유연성이 뛰어난 설계로 제조 공장 관리자가 FOUP, SMIF 또는 개방형 카세트 장착 포트 중에서 선택하여 싱글 또는 듀얼 장착 포트를 구성할 수 있습니다. 다양한 구성의 FALMO-2G는 모두 GEM300 호환 소프트웨어로 지원합니다. 유연성, 안정성을 손상하지 않고 FALMO-2G의 설치 공간을 최소화했습니다. 

응용 분야

유연한 작동

SuperQ 소프트웨어에 포함된 다양한 모듈은 사용이 간편하며 연구자와 엔지니어가 융통성 있게 활용할 수 있도록 설계되어 있습니다. 또한 방식 전환과 사용자 선호도에 맞춘 기기 변수의 조절도 용이합니다.

사양

지원팀

서비스

투자 수익 극대화를 위한 솔루션

장비가 최상의 상태로 유지되고 최고 수준으로 작동하게 하도록 Malvern Panalytical은 다양한 서비스를 제공하고 있습니다. 전문적인 기술과 지원 서비스를 통해 장비가 최적의 기능을 할 수 있도록 보장합니다.

지원팀

평생 서비스

  • 전화 및 원격 지원
  • 예방적 유지보수 및 점검
  • 유연한 고객 관리 계약
  • 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
  • 지역 및 글로벌 지원

전문 기술

공정에 가치 추가 

  • 분석 방법론
  • 자문 서비스

훈련 및 교육

  • 현장 또는 Malvern Panalytical 교육 센터(competence center)에서 교육
  • 제품, 응용 프로그램 및 소프트웨어에 대한 다양한 기본 및 고급 과정

분석 서비스 및 교정 물질

  • 전문가(XRF) 분석 서비스
Ultimate capability for film and wafer analysis.

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