원소 정량화

XRF 및 PFTNA를 통한 원소 농도 정량화

원소 농도를 알아야 물질 특성을 제어할 수 있고 보건 및 안전 규정을 준수할 수 있는 응용 분야가 많습니다. 따라서 단순히 요소의 존재를 검출하는 것만으로는 충분하지 않으며, 농도도 정량화할 수 있어야 합니다. 

응용 분야에 따라 필요한 정확도가 다릅니다.

정량화 기술

X선 형광 및 PFTNA(Pulsed Fast and Thermal Neutron Activation) 는 광범위한 응용 분야에서 다양한 물질의 원소 조성을 결정할 수 있는 비파괴적이며 안정적이고 사용하기 쉬운 분석 기법입니다. 해당 기법에서는 측정된 강도를 인증된 표준물질 또는 농도가 알려진 자체 표준물질의 강도와 비교하여 원소 농도를 정량화합니다. 이러한 표준물질이 샘플 물질과 최대한 유사해야 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 측정된 강도는 샘플의 물리적 특성의 영향도 받으므로 사용자 소프트웨어에서 처리하는 다양한 보정을 적용해야 하는 경우가 많습니다.

비표준 소프트웨어

조성을 알 수 없는 샘플 물질을 전용 표준물질 없이 신속하게 선별해야 하는 산업이 많습니다. 

이러한 경우에는 표준물질 없이 분석하는 Omnian과 같은 소프트웨어를 사용하여 전체적인 원소 조성을 결정하고 반정량 원소 농도 값을 제공할 수 있습니다.

Zetium

Zetium

구성요소의 탁월함

Epsilon 시리즈

Epsilon 시리즈

신속하고 정확한 앳라인 및 온라인 원소 분석

Axios FAST

Axios FAST

고속 샘플 처리

2830 ZT

2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

CNA 시리즈

CNA 시리즈

다양한 산업 공정을 효과적으로 제어하기 위한 온라인 원소 분석기

측정 유형
박막 계측학
오염물 검출 및 분석
입자의 화학적 성분
기술 유형
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
PFTNA(Pulsed Fast and Thermal Neutron Activation)
원소 범위 Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
해상도(Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
샘플 처리량 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour