상 변화는 비정질에서 결정질 상태로 변화하며, 이 변화는 프로토타입 물질 Ge2Sb2Te5에서 고온 어닐링 시 발생합니다. 상 변화 물질(PCM) 박막에는 동시/보완/복합 in-situ, X선 회절(XRD) 및 X선 반사(XRR) 기법이 사용됩니다. 복합 in-situ X선 산란 기법은 결정화 시 박막에 발생하는 구조적, 형태학적 및 기계적 변형을 정확하게 조사할 수 있음을 보여줍니다. 결정화 프로세스는 체적 수축(고밀화 및 두께 감소) 및 인장 변형을 형성하는 구조적 변화와 관련이 있습니다. 복합 XRD/XRR 분석은 상 변화 물질에 쌓이는 응력 성분에 대한 새로운 통찰력을 제공합니다. 시간이 지나면 동시적인 입자 성장, 점성 유동, 고밀화 및 두께 조절이 관찰되며, 이로 인해 PCM 박막에서 부분적인 응력 완화가 발생합니다. 이 복합 특성화 기법은 관련된 상 변화를 보다 정확하게 이해할 수 있는 새로운 접근 방식을 제안합니다.

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