X'Pert³ MRD
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
- Wafer max. diameter: 100 mm
- SECS/GEM
- Cleanroom ISO 4
X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
Find out moreA bem-sucedida plataforma X'Pert é continuada pela linha X'Pert³ de sistemas de difração de raios X da Malvern Panalytical. Com os novos componentes eletrônicos de controle integrados, conformidade com as mais recentes e rigorosas normas de segurança de raios X e movimentos, avanços na sustentabilidade e confiabilidade, a plataforma X'Pert³ está pronta para o futuro.
• Vida útil mais longa dos componentes do feixe incidente com CRISP
• Tempo de atividade máximo com obturadores pneumáticos e atenuadores de feixes
• Extensão fácil para novas aplicações graças à tecnologia PreFIX de segunda geração
• Troca rápida, confiável e sem ferramentas da posição de foco do tubo
• Novo sistema eletrônico de controle integrado com conexão direta com a Internet
• Conformidade com os mais rigorosos regulamentos de segurança
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
An extra PreFIX mounting platform allows mounting of an X-ray mirror and a high-resolution monochromator in-line, increasing significantly the intensity of the incident beam.
Features include
X'Pert³ MRDVersátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento |
X'Pert³ MRD XLVersátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade |
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Tecnologia | ||
X-ray Diffraction (XRD) | ||
Tipo de medição | ||
Identificação de fase | ||
Quantificação de fase | ||
Metrologia de filme fino | ||
Tensão residual | ||
Rugosidade da interface | ||
Análise de epitaxia | ||
Análise de textura | ||
Análise de espaço recíproco | ||
Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
SECS/GEM | ||
Cleanroom ISO 4 |