X'Pert³ MRD Pre-installation manual
Número da versão: 5
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A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRD) da Malvern Panalytical continua com uma nova geração – X’Pert³ MRD e X’Pert³ MRD XL. O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X em:
Ambos os sistemas suportam a mesma vasta gama de aplicações com mapeamento completo de wafers até 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).
Os sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos.
As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
Adaptado para pesquisa e desenvolvimento
Para uso com amostras de filmes finos, wafers e materiais sólidos
Mapeamento completo de wafer de até 100 mm
Posicionamento de amostra versátil e flexível
Braço estendido opcional para componentes ópticos
Excelente precisão com o novo goniômetro de alta resolução usando codificadores Heidenhain
O X’Pert³ MRD e o MRD XL da Malvern Panalytical são sistemas de solução de raios X multifuncionais que podem ser usados em muitas aplicações do setor, incluindo:
Seja para estudos de crescimento ou projeto de dispositivos, a medição da qualidade da camada, espessura, deformação e composição da liga usando XRD de alta resolução tem sido o centro da pesquisa e do desenvolvimento em dispositivos semicondutores multicamada eletrônicos e optoeletrônicos. Com várias opções de espelhos de raios X, monocromadores e detectores, o X’Pert3 MRD e o MRD XL oferecem configurações de alta resolução para se adequar a diferentes sistemas de materiais que vão desde semicondutores compatíveis com celas, passando por camadas de buffer relaxadas até novas camadas exóticas em substratos não padrão
Camadas policristalinas e revestimentos são um componente importante de muitos filmes finos e dispositivos multicamadas. A evolução da morfologia da camada policristalina durante a deposição é uma área de estudo chave na pesquisa e no desenvolvimento de materiais funcionais. O X’Pert3 MRD e o X’Pert3 MRD XL podem ser totalmente equipados com uma gama de fendas, espelho de raios X de feixe paralelo, lente policapilar, fendas cruzadas e monocapilares para dar a escolha completa de óptica de feixe incidente para reflectometria, tensão, textura e ID de fase.
Os dispositivos funcionais podem conter filmes finos desordenados, amorfos ou nanocompostos. A flexibilidade dos sistemas X’Pert3 MRD e MRD XL permite a incorporação de vários métodos analíticos. Uma gama de colimadores ópticos, de fendas e placas paralelas de alta resolução está disponível para proporcionar o desempenho ideal para métodos de incidência rasante, difração em plano e reflectometria.
Estudar o comportamento dos materiais sob diversas condições é uma parte essencial da pesquisa de materiais e do desenvolvimento de processos. O X’Pert3 MRD e o MRD XL foram concebidos para a fácil incorporação da plataforma da amostra não ambiente DHS1100 da Anton Paar, permitindo medições automatizadas sob uma faixa de temperaturas e atmosfera inerte
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
| Dimensões | 1972 x 1370 x 1131 mm |
|---|---|
| Peso | 1150 kg (apenas instrumento) |
| Safety | Menos de 1 µSv.h a 10 cm de distância da superfície externa do gabinete |
| Certificação | Diretiva de Máquinas 2006/42/CE
Diretiva EMC 2004/108/CE
Declaração de conformidade com cada instrumento |
| Compressed air supply | Linha doméstica, compressor ou garrafa de ar; 2-5 bar (0,2 - 0,5 MPa) |
| Anode material | Cu, Co, Cr, outros sob consulta |
| Foco | 0.4 mm x 12 mm (LFF) |
| Tube housing | Isolamento cerâmico
Livre de chumbo
Design patenteado com tecnologia CRISP
Ar ionizado induzido por raios X |
| X-ray generator | 3 kW |
| Detector | Proporcional, preenchido com Xe |
O primeiro detector que traz dados 0D-1D-2D e 3D para o difratômetro
Libere o potencial de seus dados
Até agora, os dados do instrumento têm ficado frequentemente presos em registros manuais, planilhas ou servidores específicos do local. Ao conectar seu X'Pert3 ao nosso Smart Manager e analisar continuamente os dados dos instrumentos na nuvem, você pode liberar todo o seu potencial.
Esta é apenas uma das nossas soluções digitais que fazem parte do Smart Manager da Malvern Panalytical.
Número da versão: 5
Número da versão: 7
Número da versão: 2
Número da versão: 4
Número da versão: 5
Número da versão: 3
Número da versão: 10
Número da versão: 9
Número da versão: 4
Número da versão: 5
Por favor, entre em contato com o suporte para adquirir a última versão do software.
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
Manutenção para sempre
Agregando valor aos seus processos
A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRD) da Malvern Panalytical continua com uma nova geração – X’Pert³ MRD e X’Pert³ MRD XL. O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X em:
Ambos os sistemas suportam a mesma vasta gama de aplicações com mapeamento completo de wafers até 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).
Os sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos.
As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
Adaptado para pesquisa e desenvolvimento
Para uso com amostras de filmes finos, wafers e materiais sólidos
Mapeamento completo de wafer de até 100 mm
Posicionamento de amostra versátil e flexível
Braço estendido opcional para componentes ópticos
Excelente precisão com o novo goniômetro de alta resolução usando codificadores Heidenhain
O X’Pert³ MRD e o MRD XL da Malvern Panalytical são sistemas de solução de raios X multifuncionais que podem ser usados em muitas aplicações do setor, incluindo:
Seja para estudos de crescimento ou projeto de dispositivos, a medição da qualidade da camada, espessura, deformação e composição da liga usando XRD de alta resolução tem sido o centro da pesquisa e do desenvolvimento em dispositivos semicondutores multicamada eletrônicos e optoeletrônicos. Com várias opções de espelhos de raios X, monocromadores e detectores, o X’Pert3 MRD e o MRD XL oferecem configurações de alta resolução para se adequar a diferentes sistemas de materiais que vão desde semicondutores compatíveis com celas, passando por camadas de buffer relaxadas até novas camadas exóticas em substratos não padrão
Camadas policristalinas e revestimentos são um componente importante de muitos filmes finos e dispositivos multicamadas. A evolução da morfologia da camada policristalina durante a deposição é uma área de estudo chave na pesquisa e no desenvolvimento de materiais funcionais. O X’Pert3 MRD e o X’Pert3 MRD XL podem ser totalmente equipados com uma gama de fendas, espelho de raios X de feixe paralelo, lente policapilar, fendas cruzadas e monocapilares para dar a escolha completa de óptica de feixe incidente para reflectometria, tensão, textura e ID de fase.
Os dispositivos funcionais podem conter filmes finos desordenados, amorfos ou nanocompostos. A flexibilidade dos sistemas X’Pert3 MRD e MRD XL permite a incorporação de vários métodos analíticos. Uma gama de colimadores ópticos, de fendas e placas paralelas de alta resolução está disponível para proporcionar o desempenho ideal para métodos de incidência rasante, difração em plano e reflectometria.
Estudar o comportamento dos materiais sob diversas condições é uma parte essencial da pesquisa de materiais e do desenvolvimento de processos. O X’Pert3 MRD e o MRD XL foram concebidos para a fácil incorporação da plataforma da amostra não ambiente DHS1100 da Anton Paar, permitindo medições automatizadas sob uma faixa de temperaturas e atmosfera inerte
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
| Dimensões | 1972 x 1370 x 1131 mm |
|---|---|
| Peso | 1150 kg (apenas instrumento) |
| Safety | Menos de 1 µSv.h a 10 cm de distância da superfície externa do gabinete |
| Certificação | Diretiva de Máquinas 2006/42/CE
Diretiva EMC 2004/108/CE
Declaração de conformidade com cada instrumento |
| Compressed air supply | Linha doméstica, compressor ou garrafa de ar; 2-5 bar (0,2 - 0,5 MPa) |
| Anode material | Cu, Co, Cr, outros sob consulta |
| Foco | 0.4 mm x 12 mm (LFF) |
| Tube housing | Isolamento cerâmico
Livre de chumbo
Design patenteado com tecnologia CRISP
Ar ionizado induzido por raios X |
| X-ray generator | 3 kW |
| Detector | Proporcional, preenchido com Xe |
O primeiro detector que traz dados 0D-1D-2D e 3D para o difratômetro
Libere o potencial de seus dados
Até agora, os dados do instrumento têm ficado frequentemente presos em registros manuais, planilhas ou servidores específicos do local. Ao conectar seu X'Pert3 ao nosso Smart Manager e analisar continuamente os dados dos instrumentos na nuvem, você pode liberar todo o seu potencial.
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Número da versão: 2
Número da versão: 4
Número da versão: 5
Número da versão: 3
Número da versão: 10
Número da versão: 9
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Agregando valor aos seus processos
Sistema XRD versátil para pesquisa e desenvolvimento. Uma nova geração de ferramentas para análise de wafers.