X'Pert³ MRD XL Pre-installation manual (English)
Número da versão: 6
Visão geral
A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRDs) da Malvern Panalytical continua com a geração do X’Pert³ MRD XL.
O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X na:
- ciência de materiais avançados
- tecnologia científica e industrial de filme fino
- caracterização metrológica no desenvolvimento de processos de semicondutores
O X’Pert³ MRD XL lida com uma ampla gama de aplicações com mapeamento completo de wafers de até 200 mm.
Sistema com flexibilidade preparada para o futuro
Os sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos.
As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
Extended MRD (XL)
O X'Pert³ Extended MRD (XL) traz maior versatilidade para a gama de sistemas X'Pert³ MRD. Uma plataforma de montagem PreFIX adicional permite a montagem de um espelho de raios X e de um monocromador de alta resolução em linha, aumentando significativamente a intensidade do feixe incidente.
Os benefícios são inúmeros: maior versatilidade de aplicação sem comprometer a qualidade dos dados, difração de raios X de alta resolução com altas intensidades, tempos mais curtos para medições, como mapeamento de espaço recíproco, e reconstrução da configuração padrão para a estendida em minutos, graças ao conceito PreFIX. Com o PreFIX de segunda geração, a reconfiguração é fácil e o posicionamento óptico é mais preciso do que nunca.
MRD (XL) em plano
Com o sistema X'Pert³ MRD (XL) para difração em plano, é possível medir a difração a partir de planos de cela perpendiculares à superfície da amostra.
Dois dos muitos benefícios são geometrias padrão e em plano em um único sistema e uma ampla gama de experimentos de difração em filmes policristalinos e filmes finos altamente perfeitos.
Principais aplicações
O X’Pert³ MRD e o MRD XL da Malvern Panalytical são sistemas de solução de raios X multifuncionais que podem ser usados em muitas aplicações do setor, incluindo:
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- Semicondutores e wafers de cristal único
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Seja para estudos de crescimento ou projeto de dispositivos, a medição da qualidade da camada, espessura, deformação e composição da liga usando XRD de alta resolução tem sido o centro da pesquisa e do desenvolvimento em dispositivos semicondutores multicamada eletrônicos e optoeletrônicos. Com várias opções de espelhos de raios X, monocromadores e detectores, o X’Pert3 MRD e o MRD XL oferecem configurações de alta resolução para se adequar a diferentes sistemas de materiais que vão desde semicondutores compatíveis com celas, passando por camadas de buffer relaxadas até novas camadas exóticas em substratos não padrão
- Sólidos policristalinos e filmes finos
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Camadas policristalinas e revestimentos são um componente importante de muitos filmes finos e dispositivos multicamadas. A evolução da morfologia da camada policristalina durante a deposição é uma área de estudo chave na pesquisa e no desenvolvimento de materiais funcionais. O X’Pert3 MRD e o X’Pert3 MRD XL podem ser totalmente equipados com uma gama de fendas, espelho de raios X de feixe paralelo, lente policapilar, fendas cruzadas e monocapilares para dar a escolha completa de óptica de feixe incidente para reflectometria, tensão, textura e ID de fase.
- Filmes ultrafinos, nanomateriais e camadas amorfas
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Os dispositivos funcionais podem conter filmes finos desordenados, amorfos ou nanocompostos. A flexibilidade dos sistemas X’Pert3 MRD e MRD XL permite a incorporação de vários métodos analíticos. Uma gama de colimadores ópticos, de fendas e placas paralelas de alta resolução está disponível para proporcionar o desempenho ideal para métodos de incidência rasante, difração em plano e reflectometria.
- Medição em condições não ambientes
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Estudar o comportamento dos materiais sob diversas condições é uma parte essencial da pesquisa de materiais e do desenvolvimento de processos. O X’Pert3 MRD e o MRD XL foram concebidos para a fácil incorporação da plataforma da amostra não ambiente DHS1100 da Anton Paar, permitindo medições automatizadas sob uma faixa de temperaturas e atmosfera inerte
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
