X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
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A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRDs) da Malvern Panalytical continua com a geração do X’Pert³ MRD XL. O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X na:
O X’Pert³ MRD XL lida com uma ampla gama de aplicações com mapeamento completo de wafers de até 200 mm.
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Os sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos. As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
O X'Pert³ Extended MRD (XL) traz maior versatilidade para a gama de sistemas X'Pert³ MRD. Uma plataforma de montagem PreFIX adicional permite a montagem de um espelho de raios X e de um monocromador de alta resolução em linha, aumentando significativamente a intensidade do feixe incidente.
Os benefícios são inúmeros: maior versatilidade de aplicação sem comprometer a qualidade dos dados, difração de raios X de alta resolução com altas intensidades, tempos mais curtos para medições, como mapeamento de espaço recíproco, e reconstrução da configuração padrão para a estendida em minutos, graças ao conceito PreFIX. Com o PreFIX de segunda geração, a reconfiguração é fácil e o posicionamento óptico é mais preciso do que nunca.
Com o sistema X'Pert³ MRD (XL) para difração em plano, é possível medir a difração a partir de planos de cela perpendiculares à superfície da amostra.
Dois dos muitos benefícios são geometrias padrão e em plano em um único sistema e uma ampla gama de experimentos de difração em filmes policristalinos e filmes finos altamente perfeitos.
| Carcaça | Goniômetro | Fonte de raio X Detetores / Estágios |
|---|---|---|
| Dimensões: 1370 (L) x 1131 (P) x 1972 (A) mm | Goniômetro horizontal | Tubos de raios-X totalmente cerâmicos produzidos pela fábrica especializada da Malvern Panalytical |
| Peso: 1150 kg | Raio: 420 mm | Livre de ferramentas para troca de foco de linha a pontual |
| Intervalo utilizável máximo (dependendo dos acessórios) -40°< 2θ < 160° | Gerador de 3 kW compatível com todos os tubos de raio X atuais e futuros | |
| Atende a todas as normas mundialmente relevantes de segurança elétrica, mecânica e de raio X, com todos os tipos de ânodos | Sistema de codificação óptica direta para precisão de goniômetro por toda a vida útil, usando codificadores Heidenhain precisamente alinhados | Detectores de pixel híbrido com o menor tamanho de pixel (55 x 55 µm2) disponível no mercado |
| O sistema se apoia em rodas para facilitar a instalação e o transporte | Precisão de longo alcance: ±0,0025° | Berço de 5 eixos com 200 x 200 mm2 x, translação y |
| Precisão de curto alcance (0,5°): ±0,0004 | Rotação Chi: ±92° | |
| Reprodutibilidade angular: < 0,0002° | Rotação Phi: 2 x 360° | |
| Menor incremento: 0,0001° |
O PIXcel3D é um detector de pixel híbrido exclusivo de estado sólido 2D. Cada pixel possui 55 mícrons x 55 mícrons e a matriz do detector é de 256 x 256 pixels. O detector, agora baseado na tecnologia Medipix3, traz um sinal incomparável ao ruído com sua função de propagação de ponto de um pixel e vários níveis de discriminação de energia.
O Pacote de salas limpas para o X’Pert³ MRD XL possui soluções inteligentes, incluindo uma unidade de filtro de ventilador para o MRD XL que pode ser adaptada ao seu instrumento existente ou fornecida com um novo.
Ao filtrar o ar ao redor da amostra de wafer semicondutor, o Pacote de salas limpas para o MRD XL ajuda a evitar contaminação através de análises. Por sua vez, isso permite que você faça medições em uma variedade maior de ambientes sem ter que investir em um novo instrumento.
Como uma solução de software adicional para a nossa ferramenta X’Pert3 MRD XL, a automação pode ser integrada ao seu instrumento existente para fornecer controle de host em conformidade com o SECS/GEM.
Com esses novos recursos, o sistema MRD XL agora pode reproduzir sua modularidade e flexibilidade em um ambiente de fábrica controlado por host. Isso permite garantir um ambiente de pesquisa ou produção livre de contaminação.
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no
nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento
e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
Atendimento durante toda a vida útil
• Suporte por telefone e remoto
• Manutenção preventiva e checkups
• Contratos flexíveis de atendimento ao cliente
• Certificados de desempenho
• Atualizações de hardware e software
• Suporte local e global
Agregando valor aos seus processos
• Desenvolvimento/otimização da preparação de amostras
• Metodologias analíticas
• Soluções completas para XRD
• Operações via IQ/OQ/PQ, garantia de qualidade (GLP, ISO17025) ou round robins/estudos interlaboratoriais
• Automação de processos de laboratório
• Serviços de consultoria
• Treinamento no local ou em nossos centros de competência
• Ampla gama de cursos básicos e avançados sobre produtos, aplicações e software
• Serviços de análises especializadas (XRF)
• Análises de óxidos e de traços
• Materiais de calibração personalizados
O X’Pert³ MRD e o MRD XL da Malvern Panalytical são sistemas de solução de raios X multifuncionais que podem ser usados em muitas aplicações do setor, incluindo:
Semicondutores e wafers de cristal único
Seja para estudos de crescimento ou projeto de dispositivos, a medição da qualidade da camada, espessura, deformação e composição da liga usando XRD de alta resolução tem sido o centro da pesquisa e do desenvolvimento em dispositivos semicondutores multicamada eletrônicos e optoeletrônicos. Com várias opções de espelhos de raios X, monocromadores e detectores, o X’Pert3 MRD e o MRD XL oferecem configurações de alta resolução para se adequar a diferentes sistemas de materiais que vão desde semicondutores compatíveis com celas, passando por camadas de buffer relaxadas até novas camadas exóticas em substratos não padrão
Sólidos policristalinos e filmes finos
Camadas policristalinas e revestimentos são um componente importante de muitos filmes finos e dispositivos multicamadas. A evolução da morfologia da camada policristalina durante a deposição é uma área de estudo chave na pesquisa e no desenvolvimento de materiais funcionais. O X’Pert3 MRD e o X’Pert3 MRD XL podem ser totalmente equipados com uma gama de fendas, espelho de raios X de feixe paralelo, lente policapilar, fendas cruzadas e monocapilares para dar a escolha completa de óptica de feixe incidente para reflectometria, tensão, textura e ID de fase.
Filmes ultrafinos, nanomateriais e camadas amorfas
Os dispositivos funcionais podem conter filmes finos desordenados, amorfos ou nanocompostos. A flexibilidade dos sistemas X’Pert3 MRD e MRD XL permite a incorporação de vários métodos analíticos. Uma gama de colimadores ópticos, de fendas e placas paralelas de alta resolução está disponível para proporcionar o desempenho ideal para métodos de incidência rasante, difração em plano e reflectometria.
Medição em condições não ambientes
Estudar o comportamento dos materiais sob diversas condições é uma parte essencial da pesquisa de materiais e do desenvolvimento de processos. O X’Pert3 MRD e o MRD XL foram concebidos para a fácil incorporação da plataforma da amostra não ambiente DHS1100 da Anton Paar, permitindo medições automatizadas sob uma faixa de temperaturas e atmosfera inerte
Versatile XRD research & development. High intensities for shorter measurement times. A new generation of tools for your wafer analysis.
