Introdução 

A espectrometria de fluorescência de raios X (XRF) é uma técnica analítica não-destrutiva utilizada para obter informações elementares a partir de diferentes tipos de materiais. É empregada em diversos setores e aplicações, como: produção de cimento, produção de vidro, mineração, beneficiamento mineral, ferro, aço e metais não-ferrosos, petróleo e petroquímicas, polímeros e setores relacionados, produtos farmacêuticos, produtos de saúde e meio ambiente. Os sistemas de espectrômetros são geralmente divididos em dois grupos principais: sistemas de dispersão de comprimento de onda (WDXRF) e sistemas de energia dispersiva (EDXRF). A diferença entre os dois está no sistema de detecção. 

O que é WDXRF e como funciona?​

O conceito básico de todos os espectrômetros é uma fonte de radiação, uma amostra e um sistema de detecção. Em espectrômetros WDXRF, a ampola de raios X que atua como fonte irradia uma amostra diretamente, e a fluorescência proveniente da amostra é medida com um sistema de detecção dispersiva por comprimento de onda. A radiação característica vinda de cada elemento individual pode ser identificada com a análise de cristais que separam os raios X com base em seu comprimento de onda, ou, ao contrário, suas energias. Esse tipo de análise pode ser feito tanto pela medição da intensidade dos raios X em diferentes comprimentos de onda um após o outro (sequencial) ou em posições fixas, medindo as intensidades de raios X em diferentes comprimentos de onda todos ao mesmo tempo (simultâneo). ​

Vantagens da espectrometria por WDXRF

  • Alta resolução, especialmente para elementos leves
  • Baixos limites de detecção, especialmente para elementos leves
  • Análise robusta
  • Alta produtividade

Axios FAST

Axios FAST

Alta produtividade de amostras

Mais detalhes
Medição Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Elemental quantification
Gama elementar Be-U
Resolução (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
processamento de amostra 240per 8h day - 480per 8h day
Tecnologia Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Excelência elementar

Mais detalhes
Medição Identificação química, Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Gama elementar Be-U
Resolução (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
processamento de amostra 160per 8h day - 240per 8h day
Tecnologia Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados

Mais detalhes
Medição Identificação química, Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Gama elementar Be-U
Resolução (Mg-Ka) 35eV
processamento de amostra up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Tecnologia Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Alta produtividade de amostras

Zetium

Zetium

Excelência elementar

2830 ZT

2830 ZT

Solução de metrologia de filme fino de semicondutores avançados

Mais detalhes Mais detalhes Mais detalhes
Medição Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Elemental quantification Identificação química, Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Identificação química, Metrologia de filme fino, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
Gama elementar Be-U Be-U Be-U
Resolução (Mg-Ka) 35eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
processamento de amostra 240per 8h day - 480per 8h day 160per 8h day - 240per 8h day up to 25 wafers per hour
Tecnologia Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)