X'Pert³

A plataforma X'Pert aprimorada

A bem-sucedida plataforma X'Pert é continuada pela linha X'Pert³ de sistemas de difração de raios X da Malvern Panalytical. Com os novos componentes eletrônicos de controle integrados, conformidade com as mais recentes e rigorosas normas de segurança de raios X e movimentos, avanços na sustentabilidade e confiabilidade, a plataforma X'Pert³ está pronta para o futuro.

• Vida útil mais longa dos componentes do feixe incidente com CRISP 
• Tempo de atividade máximo com obturadores pneumáticos e atenuadores de feixes 
• Extensão fácil para novas aplicações graças à tecnologia PreFIX de segunda geração 
• Troca rápida, confiável e sem ferramentas da posição de foco do tubo 
• Novo sistema eletrônico de controle integrado com conexão direta com a Internet 
• Conformidade com os mais rigorosos regulamentos de segurança

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Produtos com suporte

X'Pert³ MRD

Versátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento

Medição
Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology
Wafer mapping
100 mm
C-to-C wafer loader
No
Goniometer configuration
Horizontal goniometer, Θ-2Θ
Minimum step size
0.0001º
Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

Versátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade

Medição
Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness
Wafer mapping
200 mm
C-to-C wafer loader
Yes
Goniometer configuration
Horizontal goniometer, Θ-2Θ
Minimum step size
0.0001º
Detector
PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
X-ray tube anode material
Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo
Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ MRD XL

X'Pert3 Powder

A geração com melhor custo benefício de uma plataforma de difração de raio X multifuncional

Medição
3D structure / imaging
Contaminant detection and analysis
Pore size distribution
Crystal structure determination
Surface area
Interface roughness
Residual stress
Thin film metrology
Phase quantification
Phase identification
Accuracy
1% (non-condensing)
Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert3 Powder