Quantification élémentaire

Quantification des concentrations élémentaires à l'aide de la fluorescence X (XRF) et de l'activation thermique/neutronique à pulsations rapides (PFTNA)

Dans de nombreuses applications, il est essentiel de connaître la concentration élémentaire pour assurer le contrôle des propriétés du matériau ou garantir le respect des réglementations en matière de santé et de sécurité. Par conséquent, il n'est généralement pas suffisant de détecter la présence d'éléments. Il faut également quantifier leur concentration. 

Le niveau de précision requis dépend de l'application.

Techniques de quantification

La fluorescence X et l'activation thermique/neutronique à pulsations rapides sont des techniques analytiques non destructives, stables et faciles à utiliser permettant de déterminer la composition élémentaire de divers matériaux dans un large éventail d'applications. Pour quantifier les concentrations élémentaires à l'aide de ces techniques, les intensités mesurées sont comparées aux intensités de matériaux de référence certifiés ou d'étalons maison dont les concentrations sont connues. Ces étalons doivent être aussi similaires que possible au matériau d'échantillonnage pour obtenir des résultats précis. De plus, les intensités mesurées étant également affectées par les propriétés physiques de l'échantillon, diverses corrections doivent souvent être appliquées par le logiciel utilisateur.

Fluorescence X (XRF)

Spectrométrie par fluorescence des rayons X et applications de spectrométri...
Fluorescence X (XRF)

Logiciel sans standard

Dans de nombreuses industries, une analyse rapide du matériau d'échantillonnage de composition inconnue doit être effectuée sans étalons dédiés. 

Le cas échéant, un logiciel d'analyse sans étalon tel qu'Omnian peut être utilisé pour déterminer la composition élémentaire globale et obtenir des résultats semi-quantitatifs des concentrations élémentaires.

Zetium

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L'excellence élémentaire

Gamme Epsilon

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Analyse élémentaire rapide et précise de et en ligne

Axios FAST

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Cadence d'analyse élevée

2830 ZT

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Solution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs

Gamme CNA

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Analyseurs élémentaires en ligne pour un contrôle efficace de nombreux procédés industriels

Type de mesure
Métrologie des couches minces
Détection et analyse de contaminants
Identification chimique
Technologie
Fluorescence X à dispersion de longueur d'onde (WDXRF)
Fluorescence X à dispersion d'énergie (EDXRF)
Activation thermique/neutronique à pulsations rapides
Plage élémentaire Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Résolution (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Débit d'échantillon 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour