L'analyse par micro-diffraction (également appelée micro-diffraction des rayons X ou µXRD) utilise un faisceau très étroit pour effectuer des mesures XRD localisées sur une très petite zone. Elle peut être réalisée grâce à des collimateurs de faisceau incident dédiés qui réduisent les rayons X émis. À l'aide d'un monocapillaire, il est possible de produire un faisceau de rayons X incident d'environ 50 µm de diamètre. La technique de micro-diffraction est généralement utilisée avec un échantillon petit ou non homogène avec une composition, une déformation de réseau ou une orientation privilégiée des cristallites variables.
La micro-diffraction peut être appliquée à de nombreuses études de diffraction, notamment la caractérisation de petits points sur les échantillons dont la composition présente de forts gradients, comme les contaminations, inclusions, échantillons minéralogiques, échantillons médico-légaux, minuscules sections transversales de peintures anciennes, échantillons archéologiques, pièces travaillées d'intérêt métallurgique, inserts d'outils et wafers à motifs.
Les mesures de l'application de la micro-diffraction peuvent être réalisées avec les plate-forme Empyrean équipées d'un module PreFIX capable de générer un faisceau étroit (p. ex. monocapillaire ou doubles fentes croisées) sur le chemin du faisceau incident, et d'une caméra vidéo à fort grossissement pour visualiser et positionner l'échantillon dans le faisceau de rayons X.
À l'aide de nos détecteurs à pixels hybrides, il est possible de recueillir des modèles de diffraction 2D qui donnent un aperçu direct de la composition de phase d'un échantillon non homogène.
