X'Pert³ MRD XL 클린룸 패키지

보다 다양한 측정 환경, 최소한의 추가 투자

X'Pert3 MRD XL 클린룸 패키지는 팬 필터 장치를 포함한 스마트 솔루션으로 구성되어 있으며, 기존 기기에 맞춰 개량하거나 새 기기와 함께 제공될 수 있는 MRD XL용 솔루션입니다.

MRD XL 클린룸 패키지는 반도체 웨이퍼 샘플 주변의 공기를 필터링하여 웨이퍼 분석 시 오염을 방지할 수 있도록 도와줍니다. 따라서, 새로운 기기에 투자하지 않고도 광범위한 환경에서 측정할 수 있습니다.

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개요

클린룸 패키지의 프리필터와 HEPA 필터는 공기 흡입구로 유입되는 모든 공기 중 입자를 99.995% 이상의 분리 효율로 제거합니다. 필터 장치는 이러한 방식으로 MRD XL 내부의 샘플 위와 주변에서 정화된 공기의 깨끗한 흐름을 보장합니다.

최대 ISO 클래스 4까지 클린룸을 준수하는 클린룸 패키지를 사용하면 측정 환경의 가능한 범위를 확장할 수 있으므로 실험실에서 제조 시설로 전환하는 것은 물론 보다 복잡한 분석 방법도 지원합니다.

이점 및 특징

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클린룸을 포함한 다양한 환경에 적합(ISO Class 4)대부분의 안전 인증을 유지하는 개량 솔루션요구 사항에 맞는 유연한 올인원 패키지자본 지출 감소 – 새로운 기기의 필요성 배제뛰어난 내구성으로 서비스 수명 연장

  • 최대 ISO Class 4까지 준수하는 클린룸
    클린룸 패키지는 실험실, 의료 시설, 마이크로환경 및 클린룸을 포함한 다양한 환경에 적합합니다.

  • 현장에서 개량
    클린룸 패키지는 현장에서 X'Pert3 MRD XL에 맞춰 쉽게 개량할 수 있습니다. 당사의 서비스 엔지니어가 업그레이드를 설치하기 전에 측정 챔버의 내부를 철저히 청소합니다. 또는 클린룸 패키지와 함께 새 X'Pert3 MRD XL을 구매하면 클린룸에서 설치되고 이중으로 포장됩니다.

  • 대부분의 안전 인증 보유
    클린룸 패키지는 고성능 자석을 사용하여 X'Pert3 MRD XL에 맞춰 개량할 수 있으므로 기기의 캐비닛을 물리적으로 변경하지 않아도 됩니다. 이 방법에는 시스템의 고출력 X선 리소스가 포함되어 있으므로 대부분의 기존 안전 인증을 유지할 수 있습니다.

  • 모듈식 접근 방식
    X'Pert3 MRD XL은 모듈식 시스템입니다. 여러 도구와 기능을 사용할 수 있으므로 회사의 요구 사항을 충족하고 그에 따라 확장할 수 있도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 올인원 접근 방식을 사용하면 새 기기에 많은 투자를 할 필요가 없습니다.

  • 긴 사용 수명
    클린룸 패키지의 뛰어난 내구성 덕분에 교체할 필요가 거의 없습니다.

서비스

당사의 솔루션은 서비스 엔지니어든 글로벌 고객 지원 네트워크든 최고 수준의 고객 서비스, 지원 및 상담으로 뒷받침됩니다. 주저하지 말고 언제라도 연락주시기 바랍니다!

  • 현장에서 개량
  • 부품 교체 및 현장에서 배치
  • 글로벌 고객 지원 네트워크