PIXcel3D
0D-1D-2D 및 3D 데이터를 회절분석기로 가져오는 최초의 검출기
PIXcel3D는 고유한 2D 고체상 하이브리드 픽셀 검출기입니다. 각 픽셀은 55미크론 x 55미크론이고 검출기 어레이는 256 x 256픽셀입니다. 현재 Medipix3 기술을 기반으로 하는 이 검출기는 1픽셀, 멀티 에너지 구분 수준의 점상 분포 함수를 통해 높은 신호 대 잡음비를 제공합니다.
개요
Malvern Panalytical의 MRD(Materials Research Diffractometer)의 오랜 성공의 역사는 차세대 X’Pert³ MRD 및 X’Pert³ MRD XL로 이어집니다. 성능과 신뢰성이 개선된 새 플랫폼에서는 다음과 같은 분야의 X선 산란 연구에 더 많은 분석 기능과 동력을 제공합니다.
- 신소재 과학
- 과학 및 산업용 박막 기술
- 반도체 공정의 도량형 특성 연구 개발
두 시스템 모두 최대 100mm(X’Pert³ MRD) 또는 200mm(X’Pert³ MRD XL)의 완벽한 웨이퍼 매핑으로 다양한 응용 분야에 적합합니다.
미래에 대한 확장성을 보장하는 시스템
X'Pert³ MRD 시스템은 연구에서 공정 개발, 공정 제어에 활용할 수 있는 혁신적인 고급 X선 회절 솔루션입니다.
모든 시스템 필드를 모든 기존 옵션과 향후 새롭게 개발되는 하드웨어 및 소프트웨어로 업그레이드할 수 있는 기술을 사용했습니다.
특징
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연구 개발을 위한 맞춤형
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박막 샘플, 웨이퍼 및 고체 재료에 사용
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최대 100mm까지 완벽한 웨이퍼 매핑
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다양하고 유연한 시료 위치 지정
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광학 부품용 확장 암(옵션)
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Heidenhain 인코더를 사용하는 새로운 고해상도 각도계로 뛰어난 정확도
주요 응용 분야
Malvern Panalytical X’Pert³ MRD 및 MRD XL은 다음과 같은 다양한 산업 응용 분야에 사용할 수 있는 올인원 X선 솔루션 시스템입니다.
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- 반도체 및 단결정 웨이퍼
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성장 연구 또는 장치 설계 등, 고분해능 XRD를 사용한 레이어 품질, 두께, 변형 및 합금 조성의 측정은 전자 및 광전자 멀티레이어 반도체 장치 연구 및 개발의 핵심입니다. X선 거울, 단색광 및 검출기 등으로 X’Pert3 MRD 및 MRD XL은 완화된 버퍼층을 통한 격자 정합 반도체부터 비표준 기판의 새로운 이종 층에 이르기까지 다양한 물질 시스템에 적합한 고해상도 구성을 제공합니다.
- 다결정 고체 및 박막
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다결정 층과 코팅은 많은 박막 및 다층 장치의 중요한 구성 요소입니다. 증착 중 다결정 층 형태학의 발전은 기능 재료 연구 및 개발의 주요 연구 영역입니다. X’Pert3 MRD 및 X’Pert3 MRD XL는 다양한 슬릿, 평행 빔 X선 거울, 폴리카필러리 렌즈, 크로스 슬릿 및 모노카필러리를 모두 갖추고 있어 반사측정, 응력, 텍스처 및 상 식별을 위한 입사 빔 광학을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
- 초박막, 나노물질 및 비정질 층
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기능성 장치는 무질서한 비정질 또는 나노복합체 박막을 포함할 수 있습니다. X’Pert3 MRD 및 MRD XL 시스템의 유연성을 통해 여러 분석 방법을 통합할 수 있습니다. 다양한 고분해능 광학, 슬릿 및 평행 플레이트 시준기를 사용하여 그레이징 입사 방법, 평면 회절 및 반사측정에서 최적의 성능을 얻을 수 있습니다.
- 비대기 조건에서 측정
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다양한 조건에서 물질의 거동을 연구하는 것은 재료 연구 및 공정 개발의 필수적인 부분입니다. X’Pert3 MRD 및 MRD XL은 Anton Paar의 DHS1100 비대기 샘플 스테이지를 쉽게 결합하도록 설계되었으며, 다양한 온도와 불활성 대기 상태에서 자동화된 측정을 가능하게 합니다.
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
