X선 반사측정(XRR)은 X선의 전체 외부 반사 효과를 사용하여 박층 구조, 표면 및 계면을 조사하는 분석 기법입니다. 특히 반사측정은 자기 물질, 반도성 물질 및 광학 물질의 단층 및 다층 구조의 특성 분석에 사용합니다.

반사율 실험에서는 샘플의 X선 반사를 임계각 주변에서 측정합니다. 그레이징 입사각 주변에서 X선 반사가 발생합니다. 전체 외부 반사의 임계각 미만에서는 X선이 단 몇 나노미터만 샘플에 침투합니다. 이 각도를 초과하면 침투 깊이가 급속히 증가합니다. 전자 밀도가 달라지는 모든 계면에서 X선 빔의 일부가 반사됩니다. 부분적으로 반사되는 이러한 X선 빔의 간섭을 통해 반사율 실험에서 관찰되는 진동 패턴이 생성됩니다. 이러한 반사율 곡선에서 각 층의 결정도(단결정, 다결정 또는 비결정)와 관계없이 두께와 밀도, 계면과 표면 거칠기 등 층 매개변수를 결정할 수 있습니다.

반사측정 솔루션

Malvern Panalytical의 X'Pert³ MRD (XL) 또는 Empyrean 시스템에서 반사측정 실험을 수행할 수 있습니다. 

Reflectivity 소프트웨어 패키지에 구현된 자동 조정 절차를 선택하여 반사측정 데이터를 분석할 수 있습니다. Malvern Panalytical의 XRD 제품군에 속하는 Reflectivity에서는 XRDML 데이터 형식을 사용합니다. Reflectivity에서는 시뮬레이션을 통해 실험의 거울형 X선 반사율 곡선을 자동 조정할 수 있으므로 이전에 매우 전문적인 사용자의 전유물이었던 반사측정을 일반 사용자도 이용할 수 있습니다.