A difração de raios X de alta resolução é hoje uma ferramenta poderosa para a análise estrutural não destrutiva das camadas epitaxiais, das heteroestruturas e dos sistemas de supercela. É uma ferramenta padrão usada em produção industrial, bem como na fase de desenvolvimento das estruturas crescidas epitaxiais.
Muitas informações importantes podem ser obtidas a partir de padrões de difração: composição da liga e uniformidade das camadas epitaxiais, suas espessuras, a deformação e o relaxamento da deformação e a perfeição cristalina relacionada à sua densidade de deslocamento. Até mesmo a formação de interdifusão e intermisturas de interfaces pode ser investigada sob determinadas circunstâncias.
Para uma inspeção rápida, as posições do pico do substrato e das camadas podem ser usadas para a análise. Contudo, no geral, simulações de padrão completo com base na teoria de dispersão dinâmica são aplicadas para a determinação quantitativa de parâmetros relevantes.
Variedades do EmpyreanA solução multifuncional para suas necessidades analíticas |
X'Pert³ MRDVersátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento |
X'Pert³ MRD XLVersátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade |
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Tecnologia | |||
X-ray Diffraction (XRD) | |||
Tipo de medição | |||
Análise de epitaxia | |||
Identificação de fase | |||
Quantificação de fase | |||
Rugosidade da interface | |||
Metrologia de filme fino | |||
Tensão residual | |||
Análise de textura | |||
Análise de espaço recíproco | |||
Forma da partícula | |||
Tamanho da partícula | |||
Determinação de estrutura cristalina | |||
Detecção e análise de contaminantes | |||
Estrutura/imagem 3D |