Análise epitaxial

Análise de estruturas em camadas epitaxiais

A difração de raios X de alta resolução é hoje uma ferramenta poderosa para a análise estrutural não destrutiva das camadas epitaxiais, das heteroestruturas e dos sistemas de supercela. É uma ferramenta padrão usada em produção industrial, bem como na fase de desenvolvimento das estruturas crescidas epitaxiais.

Muitas informações importantes podem ser obtidas a partir de padrões de difração: composição da liga e uniformidade das camadas epitaxiais, suas espessuras, a deformação e o relaxamento da deformação e a perfeição cristalina relacionada à sua densidade de deslocamento. Até mesmo a formação de interdifusão e intermisturas de interfaces pode ser investigada sob determinadas circunstâncias.

Para uma inspeção rápida, as posições do pico do substrato e das camadas podem ser usadas para a análise. Contudo, no geral, simulações de padrão completo com base na teoria de dispersão dinâmica são aplicadas para a determinação quantitativa de parâmetros relevantes.

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Variedades do Empyrean

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X'Pert³ MRD XL

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Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
Tipo de medição
Análise de epitaxia
Identificação de fase
Quantificação de fase
Rugosidade da interface
Metrologia de filme fino
Tensão residual
Análise de textura
Análise de espaço recíproco
Forma da partícula
Tamanho da partícula
Determinação de estrutura cristalina
Detecção e análise de contaminantes
Estrutura/imagem 3D