Análise de estruturas em camadas epitaxiais
A difração de raios X de alta resolução é uma ferramenta avançada para a análise estrutural não destrutiva das camadas epitaxiais, das heteroestruturas e dos sistemas de supercela.
Trata-se de uma ferramenta padrão usada na produção industrial, bem como durante a fase de desenvolvimento de estruturas crescidas epitaxiais.
Muitas informações importantes podem ser obtidas a partir dos padrões de difração, incluindo:
Até mesmo a formação de interdifusão e intermistura de interfaces pode ser investigada sob determinadas circunstâncias.
Para uma inspeção rápida, as posições do pico do substrato e das camadas podem ser usadas para a análise.
Contudo, no geral, as simulações de padrão completo com base na teoria de dispersão dinâmica são aplicadas para a determinação quantitativa de parâmetros relevantes.
Difratômetros de raios X multifuncionais
Versátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento
Versátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade
