Rugosidade de interface

Dispersão de raios X a partir de interfaces rugosas

Todas as estruturas em camadas reais mostram superfícies e interfaces que não são atomicamente afiadas. 

A rugosidade interfacial e sua correlação entre interfaces são de fundamental importância para várias aplicações. Por isso, o conhecimento e o controle da qualidade das interfaces são de interesse prático e fundamental.

Quando devo usar a rugosidade da interface?

A dispersão de raios X oferece um método não destrutivo de obter informações de interfaces ocultas. A reflectometria de raios X é sensível à espessura do filme, à densidade dos materiais e à aspereza interfacial. Contudo, a partir da reflexão especular sozinha, não é possível distinguir o gradiente de densidade a partir da rugosidade física. A parte incoerente difusa a partir de uma superfície/interface rugosa pode ser medida melhor pela dispersão fora do espéculo de raios X. Em uma das possíveis análises, a amostra está girando em um ângulo fixo do detector.

Os dados de dispersão difusa revelam os recursos físicos de rugosidade. Essas asas (os tão conhecidos picos de Yoneda) no lado mais baixo e no mais alto da parte especular indicam a presença de rugosidade. A faixa das asas até a parte especular é afetada pela densidade do comprimento de dispersão. A análise é realizada pela conexão de um modelo de amostra que descreve as interfaces rugosas na aproximação de Born de onda distorcida.

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Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
Tipo de medição
Rugosidade da interface