Rugosidade de interface

A dispersão de raios X oferece um método não destrutivo de obter informações de interfaces ocultas. A reflectometria de raios X é sensível à espessura do filme, à densidade dos materiais e à aspereza interfacial. Contudo, a partir da reflexão especular sozinha, não é possível distinguir o gradiente de densidade a partir da rugosidade física. A parte incoerente difusa a partir de uma superfície/interface rugosa pode ser medida melhor pela dispersão fora do espéculo de raios X. Em uma das possíveis análises, a amostra está girando em um ângulo fixo do detector.

Os dados de dispersão difusa revelam os recursos físicos de rugosidade. Essas asas (os tão conhecidos picos de Yoneda) no lado mais baixo e no mais alto da parte especular indicam a presença de rugosidade. A faixa das asas até a parte especular é afetada pela densidade do comprimento de dispersão. A análise é realizada pela conexão de um modelo de amostra que descreve as interfaces rugosas na aproximação de Born de onda distorcida.

Imagem 1: Os dados de espalhamento difuso revelam características típicas de rugosidade. Os picos de Yoneda indicam a presença de rugosidade.

Imagem 2: Medição 1D baseada em frames de uma camada de irídio recolhida no Aeris.