Dispositivo para mapeamento de wafer
Complemento opcional para explorar e mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície.
Determine a orientação completa do cristal precisamente em segundos usando nosso método eficiente e preciso. Com baixo consumo de energia e custos operacionais, o DDCOM é ideal para aplicações de pesquisa e indústria.
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Orientação de cristal ultrarrápida e precisa (até (1/100)o na ponta dos seus dedos. O DDCOM gera resultados confiáveis mais de 100 vezes mais rápido do que os métodos tradicionais com economia de tempo adicional devido à geometria de medição de baixo para cima. Este instrumento altamente versátil utiliza um tubo de raios X resfriado a ar e design portátil para garantir menores custos de operação e máxima conveniência.
Este método requer apenas uma rotação de digitalização para reunir todos os dados necessários para a determinação da orientação do cristal. A medição relativa ao eixo de rotação aumenta a taxa de transferência, proporcionando resultados precisos em apenas alguns segundos.
Mantenha o controle dos processos de corte, moagem e lapidação com alta precisão de até 1/100o. O DDCOM oferece orientação completa de treliça de cristais únicos. Ativado pelos parâmetros de cristal pré-programados, ele também determina orientação desconhecida arbitrária de várias estruturas. O recurso de configuração Azimutal, juntamente com a marcação da orientação de cristal, ajuda a refinar o fluxo de trabalho para maior eficiência.
O design compacto do DDCOM permite que o sistema se encaixe em qualquer configuração. O software é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.
O DDCOM está bem equipado para ambientes de pesquisa e produção em que uma variedade de tipos de amostra precisa ser analisada. Os custos operacionais são baixos para o DDCOM, graças ao seu baixo consumo de energia e à ampola de raios X refrigerada a ar. Não é necessário resfriamento a água.
O instrumento pode medir diversos materiais diferentes com estruturas variadas, oferecendo flexibilidade a qualquer laboratório. Alguns exemplos de materiais mensuráveis incluem:
| Especificação técnica | |
|---|---|
| Fonte de raio X | Ampola de raios X refrigerada a ar de 30 W, ânodo de Cu |
| Detectores | Dois contadores de cintilação |
| Suporte de amostra | Mesa giratória precisa, precisão de ajuste de 0,01°, ferramentas para posicionamento e marcação de amostras definidas |
| Especificação física | |
| Dimensões | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| Peso | 80 kg |
| Fonte de alimentação | 100-230 V, 500 W, monofásica |
| Temperatura ambiente | ≤ 30 °C |
| Opções de configuração | |
| Dispositivo para mapeamento de wafers (diâmetro máximo 225 mm) | |
| Dispositivo para carregamento automático a partir de cassetes | |
| Exemplos de materiais mensuráveis | |
| Orientação cúbica/arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF 2 | |
| Orientação cúbica/especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl 2 O 4 , SrTiO 3 , LaTiO 3 | |
| Tetragonal: MgF 2 , TiO 2 , SrLaAlO 4 | |
| Hexagonal/Trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO 3 , SiO 2 (quartzo), Al 2 O 3 (safira), GaPO 4 , La 3 Ga 5 SiO 14 | |
| Ortorrômbico: Mg 2 SiO 4 , NdGaO 3 | |
| Materiais adicionais de acordo com as demandas dos clientes | |
Complemento opcional para explorar e mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície.
Uma ferramenta extra para permitir o carregamento automático de amostras a partir de um cassete, melhorando o tempo de produção e a eficiência do fluxo de trabalho.
Obtenha medições de orientação de cristal versáteis e ultrarrápidas com o poder da automação, tudo em um instrumento de desktop leve e econômico.