DDCOM
Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package
Os recursos incluem
- Benchtop device
- Higher throughput due to no height alignment
Cristal é um padrão de repetição de átomos, ou seja, o que vemos do ponto de vista de um elétron/fóton entrando neste cristal dependerá do ângulo pelo qual olhamos esse cristal. A visão pode ser um canal que aponta todo o caminho através do cristal ou apenas as três camadas superiores do material, portanto, as propriedades do material podem ser muito diferentes dependendo do ângulo. Um bom controle das propriedades do material requer um bom controle da orientação do cristal.
É um processo importante na implantação iônica, litografia, epitaxia, mas também, por exemplo, ao fazer um laser ou componentes óticos.
A gama Orientação de cristal é baseada na projeção Azimutal, uma técnica de medição geométrica inteligente para orientar o cristal. Isso significa que podemos encontrar não apenas a inclinação do eixo principal, mas também todas as direções in-plain com a rapidez de 10 segundos. Os instrumentos podem medir praticamente qualquer forma, desde que seja um único cristal, como wafers, lingotes, massas fundidas, discos etc.
Bem projetado para aplicações industriais, como fabricantes de cristal único ou wafer, fins de pesquisa, mas também para controle de qualidade de wafers e outros dispositivos,
Nossos sistemas de orientação de cristal altamente precisos oferecem medições simples e rápidas de orientação de cristal, garantindo que as propriedades desejadas estejam presentes para as próximas etapas de processamento.
Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package
Os recursos incluem
Ultra-fast, flexible, top surface measuring crystal orientation in a compact package
Os recursos incluem
Fully automated vertical three-axis X-ray diffractometer for ultra-fast crystal orientation
Os recursos incluem
Fast, precise and fully equipped solution for wafer orientation and sorting
Os recursos incluem
Integratable wafer orientation solution
Os recursos incluem
Fully automated in-line orientation and handling of ingots, boules, and pucks
Os recursos incluem
DDCOMUltrarrápido, orientação de cristal de medição de superfície inferior em um pacote compacto |
SDCOMMedição de orientação de cristal de superfície superior ultrarrápida em um pacote compacto |
Omega/Theta XRDDifratômetro de raios X vertical de três eixos totalmente automatizado para orientação ultrarrápida do cristal |
Wafer XRD 200Solução rápida, precisa e totalmente equipada para orientação e classificação da bolacha |
Wafer XRD 300Sua solução integrável da orientação do wafer |
XRD-OEMOrientação em linha totalmente automatizada e manuseio de lingotes, bocais e discos |
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Tecnologia | ||||||
X-ray Diffraction (XRD) | ||||||
Orientação de cristal | ||||||
Tipo de sistema | ||||||
Tipo de sistema | De bancada | De bancada | De chão | De chão | De chão | Cabeça de medição |
Estágios | ||||||
Fase de mapeamento | N/A | |||||
Fase de moagem | N/A | |||||
Estágio de empilhamento | N/A | |||||
Definição do tubo | ||||||
Potência do tubo | 30 kV/1 mA | 30 kV/1 mA | 30 kV/10 mA | 30 kV/1 mA | 30 kV/1 mA | 30 kV/1 mA |
Sistema de refrigeração | Arrefecimento do ar | Arrefecimento do ar | Refrigeração a água | Arrefecimento do ar | Arrefecimento do ar | Arrefecimento do ar |
Características | ||||||
Marcação | *Básico | N/A | ||||
Reconhecimento de geometria ótica | Opcional para massa fundida | Opcional para massa fundida | Em breve | |||
Curvas de balanço (qualidade cristalina da amostra) | N/A | |||||
Exames Theta (apenas para orientação com ótica básica) | N/A | |||||
Especificações | ||||||
Velocidade de transferência | Mais de 10 segundos | Alinhamento da altura em mais de 10 segundos | Alinhamento da altura em mais de 10 segundos | 10 minutos para 25 wafers | -- | Depende da máquina |