Faixa de orientação de cristal

Orientação rápida e precisa de wafers, massa fundida e qualquer outra amostra cristalina única

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Cristal é um padrão de repetição de átomos, ou seja, o que vemos do ponto de vista de um elétron/fóton entrando neste cristal dependerá do ângulo pelo qual olhamos esse cristal. A visão pode ser um canal que aponta todo o caminho através do cristal ou apenas as três camadas superiores do material, portanto, as propriedades do material podem ser muito diferentes dependendo do ângulo. Um bom controle das propriedades do material requer um bom controle da orientação do cristal.

É um processo importante na implantação iônica, litografia, epitaxia, mas também, por exemplo, ao fazer um laser ou componentes óticos.

A gama Orientação de cristal é baseada na projeção Azimutal, uma técnica de medição geométrica inteligente para orientar o cristal. Isso significa que podemos encontrar não apenas a inclinação do eixo principal, mas também todas as direções in-plain com a rapidez de 10 segundos. Os instrumentos podem medir praticamente qualquer forma, desde que seja um único cristal, como wafers, lingotes, massas fundidas, discos etc.

Bem projetado para aplicações industriais, como fabricantes de cristal único ou wafer, fins de pesquisa, mas também para controle de qualidade de wafers e outros dispositivos, 

Nossos sistemas de orientação de cristal altamente precisos oferecem medições simples e rápidas de orientação de cristal, garantindo que as propriedades desejadas estejam presentes para as próximas etapas de processamento.

DDCOM

Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package

Os recursos incluem

  • Benchtop device
  • Higher throughput due to no height alignment
DDCOM

SDCOM

Ultra-fast, flexible, top surface measuring crystal orientation in a compact package

Os recursos incluem

  • Benchtop device
  • Outstanding accuracy, fit for samples from 2 mm² up to 300 mm Ø wafers
SDCOM

Omega/Theta XRD

Fully automated vertical three-axis X-ray diffractometer for ultra-fast crystal orientation

Os recursos incluem

  • As fast as 10 seconds per full crystal measurement
  • Higher throughput and outstanding accuracy compared to conventional systems
  • Flexible with accessories for marking, mapping, alignments for transfers of all single crystalline materials
Omega/Theta XRD

Wafer XRD 200

Fast, precise and fully equipped solution for wafer orientation and sorting

Os recursos incluem

  • High capacity wafer metrology; full cassette of 25 wafers measured in less than 10 minutes
  • Optimal for Wafer Production: measure crystal orientation, recognize wafer ID, flat/notch and shape of wafer edge
Wafer XRD 200

Wafer XRD 300

Integratable wafer orientation solution

Os recursos incluem

  • High throughput wafer metrology system
  • Supports 300mm Si wafers
  • Optimal for Wafer Production: measure crystal orientation, recognize wafer ID, flat/notch and shape of wafer edge
Wafer XRD 300

XRD-OEM

Fully automated in-line orientation and handling of ingots, boules, and pucks

Os recursos incluem

  • Measurement head for crystal orientation
  • Built for integration into e.g. cutting and grinding machines
XRD-OEM
DDCOM

DDCOM

Ultrarrápido, orientação de cristal de medição de superfície inferior em um pacote compacto

SDCOM

SDCOM

Medição de orientação de cristal de superfície superior ultrarrápida em um pacote compacto

Omega/Theta XRD

Omega/Theta XRD

Difratômetro de raios X vertical de três eixos totalmente automatizado para orientação ultrarrápida do cristal

Wafer XRD 200

Wafer XRD 200

Solução rápida, precisa e totalmente equipada para orientação e classificação da bolacha

Wafer XRD 300

Wafer XRD 300

Sua solução integrável da orientação do wafer

XRD-OEM

XRD-OEM

Orientação em linha totalmente automatizada e manuseio de lingotes, bocais e discos

Tecnologia
X-ray Diffraction (XRD)
Orientação de cristal
Tipo de sistema
Tipo de sistema De bancada De bancada De chão De chão De chão Cabeça de medição
Estágios
Fase de mapeamento N/A
Fase de moagem N/A
Estágio de empilhamento N/A
Definição do tubo
Potência do tubo 30 kV/1 mA 30 kV/1 mA 30 kV/10 mA 30 kV/1 mA 30 kV/1 mA 30 kV/1 mA
Sistema de refrigeração Arrefecimento do ar Arrefecimento do ar Refrigeração a água Arrefecimento do ar Arrefecimento do ar Arrefecimento do ar
Características
Marcação *Básico N/A
Reconhecimento de geometria ótica Opcional para massa fundida Opcional para massa fundida Em breve
Curvas de balanço (qualidade cristalina da amostra) N/A
Exames Theta (apenas para orientação com ótica básica) N/A
Especificações
Velocidade de transferência Mais de 10 segundos Alinhamento da altura em mais de 10 segundos Alinhamento da altura em mais de 10 segundos 10 minutos para 25 wafers -- Depende da máquina