SDCOM Pre-installation Manual
Número da versão: 1
Visão geral
A medição rápida e precisa da orientação de cristal nunca foi tão acessível: conheça o SDCOM, seu XRD compacto e fácil de usar. O método de projeção azimutal permite medições ultrarrápidas, com resultados retornados em menos de dez segundos.
Oferecendo o mais alto nível de precisão de até 0,01°, suportando uma ampla variedade de acessórios, o SDCOM é a solução ideal para muitas aplicações no processamento e pesquisa de wafer.
Capaz de medir qualquer cristal único com um diâmetro entre 2 mm e 300 mm, o SDCOM usa o método de projeção azimutal para determinar precisamente a orientação completa da rede de cristais únicos em apenas uma rotação de medição — levando apenas alguns segundos.
Adequado para pesquisa, produção e controle de qualidade, o versátil e acessível SDCOM se encaixa facilmente em várias etapas de processo de wafer e lingote, enquanto tem custos operacionais mínimos, pois elimina a necessidade de arrefecimento de água.
Rápido e preciso: método de leitura azimutal
O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.
A amostra é girada 360°, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta.
Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com uma alta precisão de até 0,01°.
Compacto e versátil
Sua forma leve e compacta garante fácil integração do SDCOM em processos de pesquisa ou indústria. O software XRD Suite é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.
A flexibilidade é fundamental para o SDCOM, que é especialmente claro na variedade de materiais que pode medir. Ele é capaz de medir cristais com diâmetros entre 2 mm e 300 mm
Para maior flexibilidade, o SDCOM também aceita Theta-scan. Com isso, você pode cobrir uma gama ainda maior de materiais e off-cuts.
Há também uma variedade de suportes de amostra e dispositivos de transferência que podem expandir ainda mais as possibilidades das aplicações do seu SDCOM, garantindo a compatibilidade com o seu fluxo de trabalho. Também estão disponíveis estágios manuais e motorizados de mapeamento de wafer.
Materiais mensuráveis
Exemplos de materiais mensuráveis incluem (método de projeção azimutal):
- Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO3
- Qualquer outro material cristalino único
Econômica
O tubo de raios X da SDCOM é resfriado a ar, eliminando a necessidade de um resfriador ou de um circuito arrefecedor de água.
Graças à eficiência e ao pequeno impacto do SDCOM, seu consumo de energia é reduzido ao mínimo, além dos seus custos operacionais.
Principais aplicações
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- Marcação e medição das direções no plano
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O SDCOM oferece medições de orientação de cristal ultrarrápidas e altamente precisas, ideais para uma variedade de aplicações na produção e processamento de wafers, incluindo a marcação e medição de direções no plano. Leve e portátil, ele pode ser implantado onde quer que você precise dele em seu processo.
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Capaz de medir pequenos cristais de até 1 mm com alta precisão e uma ampla variedade de materiais, o SDCOM está bem posicionado para oferecer suporte às necessidades complexas e em constante mudança da indústria de semicondutores.
- Controle de qualidade da produção
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O controle de processos de rotina exige velocidade, precisão e repetibilidade, e o SDCOM oferece tudo isso. Sua velocidade de medição ultraelevada dará um impulso à sua produtividade sem causar um grande impacto nos seus custos de funcionamento, graças ao formato desktop e à ampola de raios X refrigerada a ar.
- Pesquisa de materiais
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Capaz de medir uma versátil variedade de tipos de cristal com um pequeno impacto no laboratório, o SDCOM é ideal para fluxos de trabalho de pesquisa padrão. Os custos de funcionamento são reduzidos graças ao consumo de energia minimizado e a uma ampola de raios X refrigerada a ar, sem necessidade de resfriamento a água.
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O SDCOM também é acessível e fácil de operar com manuseio manual, tornando-se uma solução prática para laboratórios de pesquisa com muitos usuários diferentes.
