Omega/Theta Pre-installation Manual (English)
Número da versão: 1
Visão geral
O Omega/Theta oferece o máximo em precisão e velocidade combinadas para determinar a orientação da rede cristalina. Ele possui muitos acessórios de processo, desde leitores de código de barras a tabelas de mapeamento e um quadro de empilhamento de cristal. Omega/Theta é o seu parceiro confiável para encontrar a orientação dos cristais e transferir para a próxima etapa de processamento.
O Omega/Theta é seu parceiro confiável e pronto para o futuro para determinar a orientação de cristais no cenário de semicondutores em rápida evolução. A precisão líder de mercado, a velocidade de medição super-rápida e a qualidade de construção de ponta são combinadas com o poder da automação, oferecendo eficiência e precisão incomparáveis para orientação e alinhamento de cristais em aplicações industriais e de pesquisa.
Ultrarrápido e preciso: Método de projeção Azimutal
O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.
A amostra é girada 360°, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta.
Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com alta precisão de até 0,003°.
Fácil de usar
Todas as medições no Omega/Theta são automatizadas e gerenciadas a partir do software XRD, que é conveniente e oferece medições prontas e fáceis baseadas em receitas para fluxo de trabalho de rotina.
O instrumento pode ser facilmente integrado em processos existentes em ambientes de produção usando suas várias interfaces MES, SECS/GEM e similares.
Caracterizar uma variedade de materiais
O Omega/Theta pode ser usado para caracterizar quaisquer materiais monocristalinos. Materiais comumente usados incluem:
- Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO3
- Qualquer outro material cristalino único
Manuseio de amostras prático e flexível
Nossa ampla gama de acessórios aumenta a produtividade do Omega/Theta em uma variedade de aplicações, desde a perfuração de sementes até a moagem de massas fundidas, fatiamento e controle da extremidade do wafer. Tudo para que você tenha flexibilidade mesmo se essas necessidades mudarem ao longo do tempo.
Com suportes de amostras especializados para satisfazer qualquer necessidade, desde grandes lingotes a placas minúsculas, o Omega/Theta pode acomodar diversos tamanhos de amostras – agregando valor à produção e à pesquisa.
- Estágio automático de mapeamento X-Y para mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário
- Estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar
- Eixo de rotação adicional da amostra
- Equipamento de ajuste de amostras
- Existem muitas outras soluções de engenharia personalizadas!
Com suportes de amostras personalizados para atender a qualquer necessidade, desde grandes lingotes a pequenos cilindros, o Omega/Theta pode acomodar uma grande variedade de tamanhos de amostra, garantindo que está igualmente em casa em um fluxo de trabalho de produção como na pesquisa.
Principais aplicações
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- Produção
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O Omega/Theta foi projetado para fabricantes. É ideal para a orientação e alinhamento ultrarrápidos de vários tipos de cristal na produção, para marcar direções no plano ou verificar a orientação de planos ou encaixes. Também é ideal para o controle de qualidade da produção, graças às suas altas velocidades de produção e capacidades de automação.
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Os extras opcionais, como um estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar e uma ferramenta de curva de oscilação para medições de qualidade, fazem do Omega/Theta um parceiro versátil para aplicações de produção.
- Pesquisa de materiais
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A elevada precisão e flexibilidade do Omega/Theta faz com que ele seja ideal para a pesquisa de materiais, uma vez que pode acomodar uma variedade de amostras de até 30 kg e 450 mm de comprimento, com estágios adicionais disponíveis para amostras maiores ou mais complexas.
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É capaz de caracterizar uma ampla variedade de materiais, tornando-o altamente valioso para os seus processos de P&D. O Theta Scan flexível abre um mundo de possibilidades de medição.
