Cómo lograr resultados reproducibles entre herramientas, una y otra vez

En la producción moderna de semiconductores, donde la precisión es crítica, las inconsistencias en la reproducibilidad de las mediciones pueden poner en peligro el control del proceso, el rendimiento y el desempeño. La fluorescencia de rayos X dispersiva en longitud de onda (WD-XRF) es una técnica de metrología importante que ha demostrado cumplir criterios estrictos cuando se trata de resultados reproducibles en un espectrómetro individual. Pero la reproducibilidad de las mediciones no siempre es suficiente; a menudo, los resultados deben coincidir entre varias herramientas para maximizar el rendimiento.

El software ToolMatch de Malvern Panalytical permite obtener resultados muy similares de diferentes herramientas, mejorando la precisión general de sus resultados para una calidad y consistencia óptimas.

¿Cómo funciona?

El software ToolMatch se puede combinar fácilmente con el software de importación/exportación de aplicaciones para crear recetas idénticas en espectrómetros, que, combinadas con correcciones de coincidencia de herramientas (TMC), proporcionan resultados casi indistinguibles. En comparación con la coincidencia manual, que puede ser un proceso que consume tiempo y que a menudo solo puede ser realizado por expertos, ahora esto puede ser activado y completado por un operador rutinario.

Debido a que estas mediciones son activadas por el operador rutinario, la necesidad de intervención de expertos se reduce significativamente. Esto evita redundancias, previene demoras y aumenta la eficiencia.

Sin la necesidad de corrección manual por un operador, la eficiencia del proceso se mejora significativamente.

Aquí se explica cómo ToolMatch mejora la precisión entre múltiples espectrómetros, en cuatro pasos.

Paso 1: Se crea una receta (o «aplicación») en el software analítico SuperQ, con mediciones de referencia que incluyen aplicación, monitor, estándares de calibración, calibración, actualización de calibración, patrones de oblea y TMC establecidos desde la herramienta original («Madre»).

Paso 2: La receta completa se transfiere a la herramienta secundaria («Hija») a través de la funcionalidad de Exportación/Importación de Aplicaciones, que está incluida en el paquete de software ToolMatch.

Paso 3: En la herramienta Hija, todas las obleas de calibración se miden bajo condiciones idénticas a las de la herramienta Madre, y la calibración se completa con solo presionar un botón. Luego, se ejecuta la medición de las obleas de referencia de ToolMatch, incluidos los chequeos de la ubicación exacta de la medición de obleas.

Paso 4: Se calculan líneas de corrección basadas en la receta de la herramienta Madre y los valores medidos en la herramienta Hija. Se almacenan en un conjunto TMC, que se utiliza para corregir mediciones desconocidas futuras, permitiendo alcanzar los mismos resultados en la herramienta Hija que en la herramienta Madre. Si, a pesar de la corrección del monitor de instrumentos, la medición del control de calidad falla, las mediciones de ToolMatch devolverán los resultados en línea con los resultados esperados.

Paso 5: Ejecute sus mediciones rutinarias. Las correcciones de ToolMatch se aplicarán automáticamente.

¿De dónde provienen las diferencias entre los espectrómetros?

El entorno de control de producción actual establece estrictas exigencias de proceso, a menudo muy por debajo del 1% o incluso 0.1% relativo. Como resultado, podemos ver diferencias entre los espectrómetros, aunque los espectrómetros se mantienen dentro de las especificaciones.

Por ejemplo, en señales que van de tasas de conteo bajas a muy altas, esto podría ser causado por pequeñas desviaciones en la linealidad del detector (especificada para ser ±1% relativo) o propiedades del cristal. Con ToolMatch, estas diferencias se pueden corregir automáticamente.

Vea ToolMatch en acción

En esta nota de aplicación, lea sobre cómo se puede usar ToolMatch para una aplicación que contiene Al, Cu y Ti, que fue medida en cuatro diferentes analizadores de obleas 2830 ZT de Malvern Panalytical.

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