Para realizar análisis de espesor y composición de película delgada
Las películas delgadas y los materiales con capas son comunes y tienen innumerables aplicaciones, desde joyas, aceros recubiertos u otros metales hasta circuitos integrados, por mencionar unas pocas. En la producción de películas delgadas y el control preciso de diversas capas del espesor y la composición es a menudo esencial.
Debido a la combinación entre una excelente reproducibilidad con una medición no destructiva, XRF es una técnica muy valiosa para el análisis de la composición y el espesor de películas delgadas. La reproducibilidad de la medición del espesor de XRF puede ser de un valor de ±1 de Ångstrom.
Tradicionalmente, el proceso de calibración de XRF para el análisis de película delgada ha sido difícil, especialmente para las estructuras de diversas capas. Generalmente, se necesitan muestras de calibración con una estructura y una composición similar a medida que las muestras se deban analizar. Estas muestras de calibraciones suelen ser costosas y difíciles de obtener, si están disponibles.
Stratos mejora aún más el valor de XRF en su proceso de metrología de películas delgadas mediante la simplificación y la mejora de la flexibilidad del proceso de calibración de la XRF. Stratos permite el uso de muestras de calibración diferentes a las incógnitas, e incluso permite el uso de materiales a granel para la calibración de películas delgadas y el análisis de varias capas.
Stratos incluye Virtual Analyst, que permite simular la respuesta de XRF para estructuras complejas, y demuestra inmediatamente las líneas fluorescentes que se pueden utilizar de mejor manera para medir las variaciones de los niveles del espesor y la concentración pertinente a sus capas lo que simplifica enormemente la configuración del método de análisis de película delgada.
El módulo Stratos consta de una licencia de software para utilizar instrumentos XRF de Malvern Panalytical como la gama de laboratorio Zetium, Axios o MagiX y Epsilon.
Se puede combinar a la perfección con Omnian. En el caso de los sistemas que tengan Omnian instalado, la configuración de Omnian se puede utilizar directamente para el análisis de películas delgadas con Stratos.
En el caso de los sistemas que no tengan Omnian instalado, las muestras de preparación de Omnian se pueden utilizar de todos modos para configurar el Stratos.
El módulo se puede entregar con nuevos sistemas y acondicionar en instrumentos actuales con el software SuperQ o Epsilon en ejecución
